用于监控半导体模块中的至少一个半导体元件的方法

    公开(公告)号:CN116917744A

    公开(公告)日:2023-10-20

    申请号:CN202280017088.0

    申请日:2022-01-11

    Abstract: 本发明涉及一种用于监控半导体模块(2)中的至少一个半导体元件(4)的方法,该半导体模块(2)具有用于接触半导体元件(4)的馈电线(20、22)。为了能够在不显著影响至少一个半导体元件(4)及其外围的情况下检测动态的、特别是瞬态的过程而提出:在半导体元件(4)的或至少一根馈电线(20、22)的区域中设有磁光传感器(28),其中由磁光传感器(28)反射偏振光信号(Lp),其中基于反射光信号(Lr)的偏振确定电流。

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