公开(公告)号：CN101528363A

公开(公告)日：2009-09-09

申请号：CN200780038718.8

申请日：2007-10-17

申请人： 西德尔合作公司

发明人： Y-A·杜克洛 ,  L·达内尔 ,  N·布特罗瓦

IPC分类号： B05D7/22 ,  B05D7/24

CPC分类号： B05D7/227 ,  B05D1/62 ,  B05D2201/02 ,  C23C16/045 ,  C23C16/4412 ,  C23C16/50

摘要： 容器(3)的等离子处理机(1)，其具有：接纳一待处理容器(3)的围室(5)；在所述围室(5)的延伸部分中形成有喷口(9)的盖(8)；使容器(3)降压的降压管道(14)，其通入所述喷口(9)并使该喷口连接于负压源(15)；第一阀(19)，其具有关闭位置和开启位置，在关闭位置所述第一阀关闭所述降压管道(14)，在开启位置第一阀使喷口(9)与负压源(15)连通；使容器(3)增压的增压管道(27)，其与降压管道(14)分开，该增压管道(27)在降压管道(14)之外通到喷口(9)中且使喷口(9)连接于压力源(28)；第二阀(29)，其具有该第二阀关闭增压管道(27)的关闭位置、和该第二阀使喷口(9)与压力源(28)连通的开启位置。