一种高光谱稳定性深紫外谱灯装置

    公开(公告)号:CN117855024A

    公开(公告)日:2024-04-09

    申请号:CN202311655599.8

    申请日:2023-12-05

    Abstract: 本发明公开了一种高光谱稳定性深紫外谱灯装置,该谱灯面向汞离子微波钟光抽运的应用需求,实现原子气室、射频激励设计及射频等离子体模式与参数调控。本发明深紫外谱灯装置包含三项技术创新:(1)原子气室设计方案;(2)射频激励方案;(3)射频等离子体模式与参数调控方案。采用本发明194.2nm光功率能够达到30uW,光功率稳定性优于1%/d,谱灯整体光功率优于10mW,能够满足汞离子微波钟光抽运需求。

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