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公开(公告)号：CN117039614A
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202310992302.0
申请日：2023-08-08
Applicant: 西安空间无线电技术研究所
Abstract: 本发明提供了一种基于二氧化硅波导的窄线宽外腔激光器，包括增益芯片和外腔芯片，外腔芯片包括耦合器、分束器、第一微环谐振腔和第二微环谐振腔；增益芯片自第一输出端输出的激光通过耦合器耦合进入到第一直波导，经分束器、第一弯曲波导、微环耦合结构进入第一微环谐振腔和第二微环谐振腔；第一微环谐振腔和第二微环谐振腔为半径不相等的环形结构，用于谐振部分激光并将其返回到增益芯片内，当返回激光的频率满足锁定条件时，形成自注入锁定。本发明中外腔芯片采用二氧化硅工艺平台，传输损耗低，易于制备高Q值微环，以达到压缩线宽的作用；本发明采用双微环谐振腔，利用游标卡尺效应，增大外腔自由光谱范围，实现宽波段范围的窄线宽激光输出。
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