一种总剂量作用下栅隧穿电流仿真方法

    公开(公告)号:CN115081180A

    公开(公告)日:2022-09-20

    申请号:CN202210492066.1

    申请日:2022-05-05

    Inventor: 刘红侠 卢勇 杨昆

    Abstract: 本发明公开了一种总剂量作用下栅隧穿电流仿真方法,包括以下步骤:步骤10,对SOI NMOS器件进行三维器件结构建模;步骤20,将SOI NMOS三维器件结构模型的栅介质材料参数文件进行修改,以激活Radiation模型,并设置模型的辐照偏置状态;步骤30,设置辐照剂量率和多个不同的辐照时间,对SOI NMOS三维器件结构模型进行辐照总剂量仿真,提取不同辐照剂量下对应的阈值电压Vth;步骤40,将阈值电压Vth输入栅隧穿电流经验公式中进行模拟仿真,得到总剂量效应下栅隧穿电流特性。本发明通过在不同偏置状态及不同辐照剂量随时间的变化,获得器件阈值电压,再将变化后的阈值电压代入栅隧穿电流的经验公式中进行模拟仿真,从而能够准确获得不同辐照总剂量下栅隧穿电流。

    一种总剂量作用下栅隧穿电流仿真方法

    公开(公告)号:CN115081180B

    公开(公告)日:2025-02-18

    申请号:CN202210492066.1

    申请日:2022-05-05

    Inventor: 刘红侠 卢勇 杨昆

    Abstract: 本发明公开了一种总剂量作用下栅隧穿电流仿真方法,包括以下步骤:步骤10,对SOI NMOS器件进行三维器件结构建模;步骤20,将SOI NMOS三维器件结构模型的栅介质材料参数文件进行修改,以激活Radiation模型,并设置模型的辐照偏置状态;步骤30,设置辐照剂量率和多个不同的辐照时间,对SOI NMOS三维器件结构模型进行辐照总剂量仿真,提取不同辐照剂量下对应的阈值电压Vth;步骤40,将阈值电压Vth输入栅隧穿电流经验公式中进行模拟仿真,得到总剂量效应下栅隧穿电流特性。本发明通过在不同偏置状态及不同辐照剂量随时间的变化,获得器件阈值电压,再将变化后的阈值电压代入栅隧穿电流的经验公式中进行模拟仿真,从而能够准确获得不同辐照总剂量下栅隧穿电流。

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