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公开(公告)号:CN101848595A
公开(公告)日:2010-09-29
申请号:CN201010137639.6
申请日:2010-04-01
Applicant: 西安交通大学
IPC: H05H1/30
Abstract: 大气压下单极射频电容耦合低温等离子体发生方法及装置,使用惰性气体与空气混合气体作为放电工作气体,放电区域开放式结构使得产生的等离子体容易作用于被处理对象,可解决传统等离子体发生装置结构固定和等离子体宏观温度过高及等离子体内粒子能量密度过高所导致的应用范围局限问题,可解决复杂环境下的应用问题。本发明具有以下特点,在大气压、低电压、室温的条件下,产生宏观温度低、粒子能量密度适中的等离子体,适用医疗卫生和食品卫生等领域的应用,同时成本低、能耗小,开放式的等离子发生方式可用于牙科龋齿等复杂环境下的医疗灭菌消毒、美容微创手术的医疗灭菌消毒和细胞级手术等医疗应用领域以及食品保鲜等领域。
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公开(公告)号:CN102573264A
公开(公告)日:2012-07-11
申请号:CN201110393752.5
申请日:2011-12-01
Applicant: 西安交通大学
IPC: H05H1/46
Abstract: 大气压下开放式单极射频低温等离子体发生装置,包括依次相连的射频电源、双向功率表、阻抗匹配网络和电极接头,金属电极安装在电极接头上,金属电极采用单放电端电极或者多放电端电极,且金属电极为圆柱形电极,金属电极分为绝缘部分和放电部分,在金属电极的末端设置有气体供给系统。由于普通的等离子体放电采用的双极放电机构,其空间结构固定,作用于待处理物时因为结构固定有一定的缺陷。而本发明采用的单极放电结构能很好的规避这种缺陷,它是以周围物体作为对应的电极,从而产生等离子体作用于待处理物。
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