大气压下单极射频电容耦合低温等离子体发生方法及装置

    公开(公告)号:CN101848595A

    公开(公告)日:2010-09-29

    申请号:CN201010137639.6

    申请日:2010-04-01

    Abstract: 大气压下单极射频电容耦合低温等离子体发生方法及装置,使用惰性气体与空气混合气体作为放电工作气体,放电区域开放式结构使得产生的等离子体容易作用于被处理对象,可解决传统等离子体发生装置结构固定和等离子体宏观温度过高及等离子体内粒子能量密度过高所导致的应用范围局限问题,可解决复杂环境下的应用问题。本发明具有以下特点,在大气压、低电压、室温的条件下,产生宏观温度低、粒子能量密度适中的等离子体,适用医疗卫生和食品卫生等领域的应用,同时成本低、能耗小,开放式的等离子发生方式可用于牙科龋齿等复杂环境下的医疗灭菌消毒、美容微创手术的医疗灭菌消毒和细胞级手术等医疗应用领域以及食品保鲜等领域。

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