一种基于多波长点衍射干涉的环形子孔径划分及拼接方法

    公开(公告)号:CN118031828A

    公开(公告)日:2024-05-14

    申请号:CN202410262764.1

    申请日:2024-03-07

    Abstract: 本发明公开了一种基于多波长点衍射干涉的环形子孔径划分及拼接方法,将多波长点衍射、拍频定理与环形子孔径拼接相结合,通过改变波长以扩大测量范围,减少子孔径划分时的环带数目,实现对高次非球面元件的测量,通过波长拍频组合技术改变点衍射的光源,得到最佳的合成波长,减少测量高次及大偏离非球面时所需的子孔径环带数目,继而顺利进行拼接以得到待测镜整体面形信息。

    一种基于多波长点衍射干涉术的非球面镜精密测量方法

    公开(公告)号:CN118031844A

    公开(公告)日:2024-05-14

    申请号:CN202410262765.6

    申请日:2024-03-07

    Abstract: 本发明公开了一种基于多波长点衍射干涉术的非球面镜精密测量方法,首先通过干涉仪衍射产生的高精度波前对非球面镜进行相对测量;其次再多波长光源的基础上利用拍频原理产生大范围的等效波长,使精密测量可以更加灵活并适应不同场景,如大偏离或高分辨率测量需求;再次,提出机器视觉对准技术来校准光路,减小衍射光对准误差,提高波前与干涉图质量;最后通过使用随机两步相位提取技术,以高精度和高效率提取面形误差图。本发明可用于球面、非球面光学元件的面形测量,集成了机器视觉光路校准功能及随机2补相位提取方法,较传统干涉仪具有精度高、效率高、测量范围大、鲁棒性强等优势。

Patent Agency Ranking