硅晶体加工过程中废砂浆的处理工艺

    公开(公告)号:CN101792141B

    公开(公告)日:2012-02-01

    申请号:CN201010140008.X

    申请日:2010-04-06

    Abstract: 本发明公开了一种硅晶体加工过程中废砂浆的处理工艺。利用电泳分离技术将废砂浆中的单晶硅Si及碳化硅SiC分离,使之回收再利用。首先,在废砂浆中加入2-5vol.%稀盐酸溶液,稀盐酸溶液与废砂浆体积比为1.5至3;沉降24-48h后,将上层液体排出。加入蒸馏水反复沉降排出上层液体2-4次;加入60-80vol.%蒸馏水、0.1-1wt.%的分散剂阿拉伯树胶,球磨12-24h后,调节悬浮液pH值在3-3.5;电泳分离得正极沉积物,在所得阳极沉积物中再加入蒸馏水和阿拉伯树胶调节悬浮液pH值在3-3.5电泳分离分离得再次正极沉积物,重复以上步骤三次得电泳5次的正极沉积物。

    硅晶体加工过程中废砂浆的处理工艺

    公开(公告)号:CN101792141A

    公开(公告)日:2010-08-04

    申请号:CN201010140008.X

    申请日:2010-04-06

    Abstract: 本发明公开了一种硅晶体加工过程中废砂浆的处理工艺。利用电泳分离技术将废砂浆中的单晶硅Si及碳化硅SiC分离,使之回收再利用。首先,在废砂浆中加入2-5vol.%稀盐酸溶液,稀盐酸溶液与废砂浆体积比为1.5至3;沉降24-48h后,将上层液体排出。加入蒸馏水反复沉降排出上层液体2-4次;加入60-80vol.%蒸馏水、0.1-1wt.%的分散剂阿拉伯树胶,球磨12-24h后,调节悬浮液pH值在3-3.5;电泳分离得正极沉积物,在所得阳极沉积物中再加入蒸馏水和阿拉伯树胶调节悬浮液pH值在3-3.5电泳分离分离得再次正极沉积物,重复以上步骤三次得电泳5次的正极沉积物。

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