公开(公告)号：CN118409108A

公开(公告)日：2024-07-30

申请号：CN202410570355.8

申请日：2024-05-09

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 李波 ,  卜凯 ,  赵玉龙 ,  李村 ,  白冰 ,  薛闳 ,  艾嘉宾 ,  周圣翔

IPC: G01P15/097

Abstract: 本发明公开了一种应力自隔离的石英谐振加速度计芯片及石英谐振加速度计，涉及谐振加速计技术领域，该芯片包括石英基底和石英谐振器，石英谐振器包括依次连接的上隔离盘、音叉振梁和下隔离盘；上隔离盘上由外向内依次开设有第一上隔离槽、第二上隔离槽和第三上隔离槽，下隔离盘上由外向内依次开设有第一下隔离槽、第二下隔离槽和第三下隔离槽；第一上隔离槽和第一下隔离槽、第二上隔离槽和第二下隔离槽以及第三上隔离槽和第三下隔离槽构成三级应力隔离结构。本发明采用全石英结构，降低了因异质材料热膨胀系数不同所引入的热应力干扰；依靠高效的三级隔离槽隔离外部可能影响谐振器应力分布的干扰。

公开(公告)号：CN119595938A

公开(公告)日：2025-03-11

申请号：CN202411781394.9

申请日：2024-12-05

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 李村 ,  卜凯 ,  赵玉龙 ,  艾嘉宾 ,  周圣翔 ,  薛闳 ,  张子超

IPC: G01P15/097 ,  G01P15/08

Abstract: 一种高增益自动相位调制的石英振梁加速度计控制电路，包括馈通抑制模块，馈通抑制模块与石英振梁谐振器组成并联谐振单元，并联谐振单元输出和前端放大模块输入连接，前端放大模块输出和高通滤波模块输入、自动相位控制模块第一输入连接，高通滤波模块输出和动态移相模块第一输入连接，动态移相模块第二输入和自动相位控制模块输出连接，动态移相模块输出经低通滤波模块、方波整形模块、幅度控制模块和差分驱动模块输入连接，差分驱动模块输出和馈通抑制模块输入、石英振梁谐振器驱动端、自动相位控制模块第二输入连接；本发明实现低噪声的驱动高阻抗石英振梁，动态补偿环路相位误差以提高加速度计的稳定性与分辨率。

公开(公告)号：CN118409108B

公开(公告)日：2024-11-22

申请号：CN202410570355.8

申请日：2024-05-09

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 李波 ,  卜凯 ,  赵玉龙 ,  李村 ,  白冰 ,  薛闳 ,  艾嘉宾 ,  周圣翔

IPC: G01P15/097

Abstract: 本发明公开了一种应力自隔离的石英谐振加速度计芯片及石英谐振加速度计，涉及谐振加速计技术领域，该芯片包括石英基底和石英谐振器，石英谐振器包括依次连接的上隔离盘、音叉振梁和下隔离盘；上隔离盘上由外向内依次开设有第一上隔离槽、第二上隔离槽和第三上隔离槽，下隔离盘上由外向内依次开设有第一下隔离槽、第二下隔离槽和第三下隔离槽；第一上隔离槽和第一下隔离槽、第二上隔离槽和第二下隔离槽以及第三上隔离槽和第三下隔离槽构成三级应力隔离结构。本发明采用全石英结构，降低了因异质材料热膨胀系数不同所引入的热应力干扰；依靠高效的三级隔离槽隔离外部可能影响谐振器应力分布的干扰。

公开(公告)号：CN118275731A

公开(公告)日：2024-07-02

申请号：CN202410368010.4

申请日：2024-03-28

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 赵玉龙 ,  薛闳 ,  李村 ,  艾嘉宾 ,  周圣翔 ,  李波

IPC: G01P15/03

Abstract: 一种集成式双轴敏感的石英谐振式加速度传感器芯片，包括结构相同且采用胶粘、键合或焊接的方式正交集成的单晶石英材料一次加工得到的第一、第二一体式单轴敏感的石英谐振式加速度传感器芯片；一体式单轴敏感的石英谐振式加速度传感器芯片包括固定框架，第一连接框于x轴方向的一端连接固定框架，另一端连接质量块，y轴方向内部两端与第一谐振器两端连接；第二连接框于x轴方向的一端连接固定框架，另一端连接质量块，y轴方向内部两端与第二谐振器两端连接；第一、第二谐振器作为敏感元件，固定框架、第一连接框、第二连接框、质量块作为弹性元件；本发明实现双轴敏感方向上的加速度的检测，具有灵敏度高、双轴加速度检测、抗干扰能力强的优点。