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公开(公告)号：CN118533337A
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN202410609591.6
申请日：2024-05-16
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种适用于高温高压环境下的浮动式无引线封装压力传感器，包括合金盖帽，合金盖帽和合金壳体底部连接，合金壳体内底部的合金盖帽上安装有环形卡环，环形卡环上安装有传感器芯片，传感器芯片上设置有陶瓷基底，陶瓷基底底部与传感器芯片接触，陶瓷基底顶部与压簧接触，压簧与合金壳体接触，实现一体式封装结构的预紧；传感器芯片和陶瓷基底上安装的导电引脚连接；本发明通过合金敏感膜和压杆取代硅酸油作为压力传递介质，以避免出现液体泄露，同时还可以调整敏感膜厚度以适应高压环境下的压力测量；导电引脚与金属焊盘通过金凸点直接接触，无需金丝引线，实现高温环境下稳定的电气连接，提高传感器的性能与可靠性。
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公开(公告)号：CN118409108A
公开(公告)日：2024-07-30
申请号：CN202410570355.8
申请日：2024-05-09
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01P15/097
Abstract: 本发明公开了一种应力自隔离的石英谐振加速度计芯片及石英谐振加速度计，涉及谐振加速计技术领域，该芯片包括石英基底和石英谐振器，石英谐振器包括依次连接的上隔离盘、音叉振梁和下隔离盘；上隔离盘上由外向内依次开设有第一上隔离槽、第二上隔离槽和第三上隔离槽，下隔离盘上由外向内依次开设有第一下隔离槽、第二下隔离槽和第三下隔离槽；第一上隔离槽和第一下隔离槽、第二上隔离槽和第二下隔离槽以及第三上隔离槽和第三下隔离槽构成三级应力隔离结构。本发明采用全石英结构，降低了因异质材料热膨胀系数不同所引入的热应力干扰；依靠高效的三级隔离槽隔离外部可能影响谐振器应力分布的干扰。
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公开(公告)号：CN119595938A
公开(公告)日：2025-03-11
申请号：CN202411781394.9
申请日：2024-12-05
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01P15/097 , G01P15/08
Abstract: 一种高增益自动相位调制的石英振梁加速度计控制电路，包括馈通抑制模块，馈通抑制模块与石英振梁谐振器组成并联谐振单元，并联谐振单元输出和前端放大模块输入连接，前端放大模块输出和高通滤波模块输入、自动相位控制模块第一输入连接，高通滤波模块输出和动态移相模块第一输入连接，动态移相模块第二输入和自动相位控制模块输出连接，动态移相模块输出经低通滤波模块、方波整形模块、幅度控制模块和差分驱动模块输入连接，差分驱动模块输出和馈通抑制模块输入、石英振梁谐振器驱动端、自动相位控制模块第二输入连接；本发明实现低噪声的驱动高阻抗石英振梁，动态补偿环路相位误差以提高加速度计的稳定性与分辨率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119223513A
公开(公告)日：2024-12-31
申请号：CN202411340460.9
申请日：2024-09-25
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种全硅立式无引线封装结构及其制备方法，包括传感器芯片，传感器芯片经高掺杂硅立式导电结构连接在陶瓷基底上，陶瓷基底上连接有导电引脚，导电引脚和掺杂硅立式导电结构电连接，传感器芯片、高掺杂硅立式导电结构、陶瓷基底外侧连接有合金外壳；传感器芯片采用SOI硅片，高掺杂硅立式导电结构用P型高掺杂低电阻率的硅片；本发明能够实现无金属或导电焊料参与的全硅化的封装结构，适合于超高温环境下的应用，具有制作工艺简单、电气连接稳定、成本低等优点，易于大批量生产。
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公开(公告)号：CN118409108B
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202410570355.8
申请日：2024-05-09
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01P15/097
Abstract: 本发明公开了一种应力自隔离的石英谐振加速度计芯片及石英谐振加速度计，涉及谐振加速计技术领域，该芯片包括石英基底和石英谐振器，石英谐振器包括依次连接的上隔离盘、音叉振梁和下隔离盘；上隔离盘上由外向内依次开设有第一上隔离槽、第二上隔离槽和第三上隔离槽，下隔离盘上由外向内依次开设有第一下隔离槽、第二下隔离槽和第三下隔离槽；第一上隔离槽和第一下隔离槽、第二上隔离槽和第二下隔离槽以及第三上隔离槽和第三下隔离槽构成三级应力隔离结构。本发明采用全石英结构，降低了因异质材料热膨胀系数不同所引入的热应力干扰；依靠高效的三级隔离槽隔离外部可能影响谐振器应力分布的干扰。
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公开(公告)号：CN117330782A
公开(公告)日：2024-01-02
申请号：CN202311375653.3
申请日：2023-10-23
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01P15/097 , G01P15/08
Abstract: 一种MEMS一体式石英谐振式加速度传感器芯片，包括固定框架及其内部的质量块；质量块的x轴方向即芯片敏感方向的两端分别经第一连接框、第二连接框和固定框架连接，质量块y轴方向的两端经解耦梁与固定框架连接；第一连接框y轴方向内部两端与第一谐振器连接；第二连接框y轴方向内部两端与第二谐振器连接；第一谐振器、第二谐振器作为敏感元件，固定框架、质量块、第一连接框、第二连接框、解耦梁作为弹性元件，敏感元件和弹性元件均为一次加工得到的一体式结构；本发明采用一体式芯片结构，采用一体式芯片结构，具有加工工艺简单、芯片材料参数一致、无装配误差、抗交叉干扰能力强、灵敏度高等优点。
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公开(公告)号：CN114280329A
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN202111609026.2
申请日：2021-12-27
Applicant: 西安交通大学 , 中国人民解放军96901部队31分队
IPC: G01P15/097
Abstract: 一种双端固支音叉石英加速度传感器，包括固定基底和质量块，固定基底由实体部和四周延伸出一个闭合框架连接而成，实体部的两侧分别为固定基底第一表面、固定基底第二表面，固定基底和质量块之间通过铰链连接，铰链由上半铰链和下半铰链组成，上半铰链、下半铰链、质量块和固定基底实体部之间存在通孔，通孔中安装有成差动布置的结构相同的第一加速度检测器、第二加速度检测器；本发明具有微装配工艺简单、稳定性高以及灵敏度较高等优点。
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公开(公告)号：CN115561485A
公开(公告)日：2023-01-03
申请号：CN202211389473.6
申请日：2022-11-08
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01P15/097
Abstract: 一种基于原子钟锁频的压控再平衡石英谐振加速度计，包括原子钟、分频器、鉴频鉴相器、环路控制器、模数转换器、压控变容器、自动幅度控制器、带有加速度敏感结构的石英谐振器；石英谐振器、压控变容器、自动幅度控制器依次相连组成振荡环路，鉴频鉴相器、环路控制器、振荡环路依次连接成锁相环路，原子钟信号通过分频器与鉴频鉴相器参考输入端相连，石英谐振器输入端口与鉴频鉴相器反馈输入端口相连，模数转换器量化锁相环路的环路控制器输出电压控制信号作为敏感加速度的数字表征；本发明实现较高的加速度分辨率，并实现数字输出，降低系统集成成本与精度损失。
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