公开(公告)号：CN118883378A

公开(公告)日：2024-11-01

申请号：CN202410953157.X

申请日：2024-07-16

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 张勇 ,  王梓涵 ,  王睿哲 ,  邓元刚 ,  李小玉 ,  解靓 ,  王春祺 ,  马天瑞 ,  刘长睿 ,  王久洪

IPC: G01N15/06 ,  G01N27/62

Abstract: 本发明公开了一种四面硅微米柱三电极电离式气溶胶传感器及制备方法，包括内置于封装结构中的传感器结构；包括从上至下依次分布的第一、第二、第三和第四电极，第一、第四电极为单电极，第二、第三电极为上下叠合后构成的双电极；在第一电极设有扩散孔；第二电极和第三电极背靠背连结在一起，设有分布相同且贯通的引出孔；扩散孔和引出孔周边附着有硅微米柱阵列；第四电极的内表面设有凹槽，凹槽中和凹槽外周覆盖有硅微米柱阵列；通过极板间的玻璃绝缘片控制极间距；电极上引出有金线；四电极之间硅微米柱阵列分布密度和高度相同、分布面积不同，硅微米柱上下尖端正对。该传感器具有高灵敏度、宽量程、高分辨率和快速响应的特点，可以对不同粒径的气溶胶浓度进行检测。