公开(公告)号：CN110695523B

公开(公告)日：2021-01-15

申请号：CN201910531738.3

申请日：2019-06-19

申请人： 西安中科微精光子制造科技有限公司

发明人： 康伟 ,  彭东东 ,  张新华 ,  訾进锋

IPC分类号： B23K26/08 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/382 ,  B23K26/70

摘要： 一种激光扫描装置，包括光束平移元件、与所述光束平移元件相对的第一反射镜、与所述第一反射镜相对的第二反射镜、与第二反射镜相对的聚焦镜；所述光束平移元件及所述第一反射镜能够绕第一轴向旋转；所述第二反射镜安装于压电陶瓷二维偏转台上，且所述压电陶瓷二维偏转台及所述聚焦镜均能够绕所述第二轴向旋转，所述第二反射镜随所述压电陶瓷二维平台绕所述第二轴向旋转。本发明加工位置在水平平面内的任意改变，并使加工位置可在工件的竖直平面内改变，并且可以改变孔的指向；加工时可通过压电陶瓷二维平台实现反射角度按相应光斑运动轨迹的微小变化，实现圆孔和异型孔的加工。

公开(公告)号：CN108247200A

公开(公告)日：2018-07-06

申请号：CN201810103003.6

申请日：2018-02-01

申请人： 西安中科微精光子制造科技有限公司

发明人： 姜宝宁 ,  王宁 ,  王自 ,  杨小君 ,  贺斌 ,  康伟 ,  彭东东

IPC分类号： B23K26/082 ,  B23K26/382

摘要： 本发明涉及一种用于激光微孔加工的光束扫描系统和光束扫描方法，该光束扫描系统包括：第一二维光束反射模块，第二二维光束反射模块，第一二维光束反射模块驱动控制模块，第二二维光束反射模块驱动控制模块，协同控制模块，被配置成控制第一二维光束反射模块驱动控制模块、第二二维光束反射模块驱动控制模块分别驱动第一二维光束反射模块、第二二维光束反射模块按照预设的扫描轨迹进行运动，使得入射的激光光束依次通过第一二维光束反射模块、第二二维光束反射模块、聚焦系统后对XY二维平面进行微孔加工，本光束扫描系统可大幅度提升现有光束扫描模块的加工效率，加工精度，稳定性以及设备寿命。

公开(公告)号：CN112264721A

公开(公告)日：2021-01-26

申请号：CN202011108555.X

申请日：2020-10-16

申请人： 西安中科微精光子制造科技有限公司

发明人： 刘国强 ,  姜宝宁 ,  康伟

IPC分类号： B23K26/382 ,  B23K26/046 ,  B23K26/082

摘要： 一种激光微孔加工装置，其包括光平移模块、振镜扫描模块和聚焦镜；光平移模块包括沿光路方向依次设置的第一平行平板和第二平行平板，第一平行平板和第二平行平板均与光轴成45°夹角且均能够分别绕第一轴向同向旋转并用于将光束折射并平移，第一轴向为竖直方向；振镜扫描模块包括相对设置的第一偏转镜和第二偏转镜，第一偏转镜能够绕第二轴向旋转并将接收到的光束反射至第二偏转镜，第二偏转镜能够绕第三轴向旋转并将接收到的光束进行反射；聚焦镜用于将经光平移模块和振镜扫描模块折转后的光束聚焦。本发明通过该装置的应用能够实现在一定厚度工件上加工圆孔或倒锥孔；并且能够实现大深径比微孔的加工。

公开(公告)号：CN105954858A

公开(公告)日：2016-09-21

申请号：CN201610497718.5

申请日：2016-06-29

申请人： 西安中科微精光子制造科技有限公司

发明人： 康伟 ,  王宁 ,  赵华龙

IPC分类号： G02B7/182

摘要： 本发明公开了一种具有三自由度可调整的反射镜装置，其包括：反射镜、反射镜支架、角度调整机构和平移调整机构，反射镜用于改变入射光的传播方向，反射镜支架具有相互垂直且连通的第一光通道和第二光通道，反射镜通过角度调整机构设置于反射镜支架的第一光通道和第二光通道交汇的位置处；角度调整机构用于调整反射镜的二维方向角；平移调整机构用于沿沿预设方向推动反射镜支架进而调整反射镜在预设方向上的位置。本发明反射镜装置可以满足实际应用中对反射镜自由度要求较高的需求。

公开(公告)号：CN105855696A

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201610304773.8

申请日：2016-05-10

申请人： 西安中科微精光子制造科技有限公司

发明人： 王宁 ,  杨小君 ,  康伟 ,  田冰心

IPC分类号： B23K26/042

CPC分类号： B23K26/042

摘要： 本发明提供一种激光聚焦光斑定位装置，其包括至少具有X轴、Y轴、Z轴和工作台的机床、设置于所述Z轴的扫描头、设置于所述扫描头下方的聚焦镜、用于夹持一个标准块进行定位的夹具及传感器，所述工作台设置于所述X轴和所述Y轴、且通过所述X轴和所述Y轴实现移动，所述夹具和所述传感器均设置于所述工作台，所述传感器获取所述聚焦镜聚焦形成的激光聚焦光斑的坐标。本发明还提供一种激光聚焦光斑定位方法，采用非接触的方式将激光聚焦光斑位置和工件被加工区域的位置相重合，克服了接触式测量中对加工工件定位不准确的问题，从而可实现高精度的加工定位。所述激光聚焦光斑定位装置结构简单，易于操作实现所述激光聚焦光斑定位方法。

公开(公告)号：CN112192021A

公开(公告)日：2021-01-08

申请号：CN202011108763.X

申请日：2020-10-16

申请人： 西安中科微精光子制造科技有限公司

发明人： 刘国强 ,  姜宝宁 ,  康伟

IPC分类号： B23K26/082 ,  B23K26/064 ,  B23K26/382

摘要： 一种激光扫描装置，其包括光平移元件、振镜扫描模块和聚焦镜；光平移元件能够绕第一轴向旋转并用于将光束折射并平移，第一轴向为竖直方向；振镜扫描模块包括相对设置的第一偏转镜和第二偏转镜，第一偏转镜能够绕第二轴向旋转并将接收到的光束反射至第二偏转镜，第二偏转镜能够绕第三轴向旋转并将接收到的光束进行反射；聚焦镜用于将经光平移元件和振镜扫描模块折转后的光束聚焦。本发明通过该装置的应用能够实现在一定厚度工件上加工圆孔或倒锥孔；并且能够实现大深径比微孔的加工。

公开(公告)号：CN111001928A

公开(公告)日：2020-04-14

申请号：CN201911346223.2

申请日：2019-12-24

申请人： 西安中科微精光子制造科技有限公司

发明人： 康伟 ,  王宁 ,  赵华龙 ,  赵荣昌

IPC分类号： B23K26/06 ,  B23K26/382 ,  B23K26/70

摘要： 一种激光微孔加工的光束扫描装置，包括反射模块、偏转模块、平移模块和聚焦模块；所述反射模块包括第一反射子模块及第二反射子模块；所述偏转模块及平移模块的数量均为两个；两个偏转模块的轴系相对转动且均设置于所述第一反射子模块与所述第二反射子模块之间，每个偏转模块包括光楔组件及用于带动光楔组件绕第一轴向转动的第一直驱式电机；两个平移模块的轴系相对转动且均设置于所述第二反射镜组件与所述聚焦模块之间，每个平移模块包括平板组件及用于带动平板组件绕第二轴向转动的第二直驱式电机。本发明能实现大深径比及不同锥度孔加工。

公开(公告)号：CN110695521A

公开(公告)日：2020-01-17

申请号：CN201910481347.5

申请日：2019-06-04

申请人： 西安中科微精光子制造科技有限公司

发明人： 康伟 ,  刘国强 ,  姜宝宁 ,  赵荣昌

IPC分类号： B23K26/064 ,  B23K26/382 ,  B23K26/70

摘要： 一种激光微孔加工的光束扫描系统，包括光楔组、平板组及聚焦镜；光楔组包括第一光楔及第二光楔，第一光楔的入光面与第二光楔的出光面平行设置，第一光楔的出光面与第二光楔的入光面间隔相对；第一光楔的出光面相对于入光面倾斜设置，第二光楔的出光面相对于入光面倾斜设置；第一光楔及第二光楔能够分别绕第一轴向转动；平板组包括第一平板及第二平板，第一平板的入光面与出光面平行设置，第一平板的出光面与第二平板的入光面间隔相对，第二平板的入光面与出光面平行设置；第一平板及第二平板能够分别绕第二轴向转动。本发明能实现大深径比及不同锥度孔加工。

公开(公告)号：CN105855696B

公开(公告)日：2018-05-22

申请号：CN201610304773.8

申请日：2016-05-10

申请人： 西安中科微精光子制造科技有限公司

发明人： 王宁 ,  杨小君 ,  康伟 ,  田冰心

IPC分类号： B23K26/042

摘要： 本发明提供一种激光聚焦光斑定位装置，其包括至少具有X轴、Y轴、Z轴和工作台的机床、设置于所述Z轴的扫描头、设置于所述扫描头下方的聚焦镜、用于夹持一个标准块进行定位的夹具及传感器，所述工作台设置于所述X轴和所述Y轴、且通过所述X轴和所述Y轴实现移动，所述夹具和所述传感器均设置于所述工作台，所述传感器获取所述聚焦镜聚焦形成的激光聚焦光斑的坐标。本发明还提供一种激光聚焦光斑定位方法，采用非接触的方式将激光聚焦光斑位置和工件被加工区域的位置相重合，克服了接触式测量中对加工工件定位不准确的问题，从而可实现高精度的加工定位。所述激光聚焦光斑定位装置结构简单，易于操作实现所述激光聚焦光斑定位方法。

公开(公告)号：CN111001928B

公开(公告)日：2020-09-25

申请号：CN201911346223.2

申请日：2019-12-24

申请人： 西安中科微精光子制造科技有限公司

发明人： 康伟 ,  王宁 ,  赵华龙 ,  赵荣昌

IPC分类号： G02B26/10 ,  B23K26/06 ,  B23K26/382 ,  B23K26/70

摘要： 一种激光微孔加工的光束扫描装置，包括反射模块、偏转模块、平移模块和聚焦模块；所述反射模块包括第一反射子模块及第二反射子模块；所述偏转模块及平移模块的数量均为两个；两个偏转模块的轴系相对转动且均设置于所述第一反射子模块与所述第二反射子模块之间，每个偏转模块包括光楔组件及用于带动光楔组件绕第一轴向转动的第一直驱式电机；两个平移模块的轴系相对转动且均设置于所述第二反射镜组件与所述聚焦模块之间，每个平移模块包括平板组件及用于带动平板组件绕第二轴向转动的第二直驱式电机。本发明能实现大深径比及不同锥度孔加工。