一种微米级S-Si半导体合金膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN105206661B

    公开(公告)日:2018-03-30

    申请号:CN201510592397.2

    申请日:2015-09-17

    Abstract: 本发明公开了一种微米级S‑Si半导体合金膜,所述合金膜是由基片、S膜和Si膜组成的多晶结构;所述合金膜的薄层电阻为10~50Ω/口,在1.1~2.5μm近红外波段中,反射率为7~15%;该合金膜的制备方法包括镀膜、合金化和退火。本发明制备的半导体合金应用于光伏太阳能电池后,其在1.1‑2.5μm的近红外波段的转换效率η可提高到2%以上;该微米级S‑Si半导体合金膜环保、具有低的反射率、低的薄层电阻和在1.1‑2.5μm的近红外光波段有显著的光电转换效应,且制备方法操作简单、制备方便、成本低、适用于工业化大规模生产。

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