一种MEMS微型电流传感器
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114563611A

    公开(公告)日:2022-05-31

    申请号:CN202210033997.5

    申请日:2022-01-12

    Abstract: 本发明公开了一种MEMS微型电流传感器,属于传感器技术领域。所述微型电流传感器主要包括热驱动器部分Ⅰ和谐振器部分Ⅱ。所述热驱动器部分Ⅰ主要包括锚点1和V型梁2;所述V型梁2的两个开口端固定于锚点1上,另一端即尖端与谐振器部分Ⅱ相连。本发明利用电流的热效应使V型梁2膨胀产生热应力,改变谐振器一3的刚度,使谐振器一3和谐振器二6的幅值比改变。相较于现有技术,避免了外界的电磁干扰,在结构参数θ的优选范围内能够满足特定应用场景对传感器微型化、高精度和高鲁棒性的测量要求。

    一种多源辐射耦合的目标红外偏振特征反演方法

    公开(公告)号:CN119880161A

    公开(公告)日:2025-04-25

    申请号:CN202510370926.8

    申请日:2025-03-27

    Abstract: 本发明提供了一种多源辐射耦合的目标红外偏振特征反演方法,包括:步骤S1,获取背景、目标和入射源的温度参数以及入射源的角度参数和目标的表面材质参数;步骤S2,计算背景、目标和入射源等效的黑体辐射亮度;步骤S3,计算第一镜面反射热辐射分量和第二镜面反射热辐射分量;步骤S4,计算第一漫反射热辐射分量和第二漫反射热辐射分量;步骤S5,计算目标自发热辐射分量;步骤S6,根据第一镜面反射热辐射分量、第二镜面反射热辐射分量、第一漫反射热辐射分量、第二漫反射热辐射分量和目标自发热辐射分量得到反射斯托克斯矢量内的三个参量;步骤S7,根据三个参量得到目标的目标偏振度。有益效果是本发明能够提升目标红外偏振特征反演的准确性。

    一种多偏振通道联合的动态背景下目标检测方法

    公开(公告)号:CN119379992A

    公开(公告)日:2025-01-28

    申请号:CN202411480587.0

    申请日:2024-10-23

    Abstract: 本发明涉及一种多偏振通道联合的动态背景下目标检测方法,包括:获取目标场景下的多通道偏振信息图像,计算对应的偏振度图像DoLP;对偏振度图像进行阈值分割得到初目标区域图像;结合多通道偏振信息图像间差异性,依次选取每相邻的3幅偏振信息图像,计算对应的偏振度图像DoLPk,对偏振度图像DoLPk进行阈值分割得到初背景区域图像;将初背景区域结果进行逻辑运算得到终背景区域图像;将初目标区域图像和终背景区域图像进行背景差分,得到精细化目标区域图像;结合滤波算法消除孤立、填充目标区域,得到终目标区域图像;最后进行图像融合,完成目标特征提取,达到消除动态背景杂波干扰,凸显目标特征的目的。

    一种亚波长金属光栅偏振器件结构及其晶圆级制造方法

    公开(公告)号:CN118567020A

    公开(公告)日:2024-08-30

    申请号:CN202411034443.2

    申请日:2024-07-31

    Abstract: 本发明提供了一种亚波长金属光栅偏振器件结构及其晶圆级制造方法,包括:基底;第一介质层,沉积于基底顶端;第二介质层,沉积于第一介质层顶端;多个介质光栅层,沉积于第二介质层顶端并沿第二介质层的长度方向间隔设置,每相邻的两个介质光栅层之间分别形成沟槽,各介质光栅层和第二介质层的材质具有相同的折射率,各介质光栅层的光栅周期小于入射光的入射波长;多个第一金属层,分别沉积于各沟槽内;多个第二金属层,分别沉积于各介质光栅层顶端,各第二金属层和各第一金属层的材质具有相同的介电常数。有益效果是本发明能够在获得优良偏振性能的同时减小微纳加工工艺难度,并实现亚波长金属光栅偏振器件结构的大面积、高保真、高效率制造。

    一种温度与壁面剪应力的时空同点位测量方法

    公开(公告)号:CN116429369A

    公开(公告)日:2023-07-14

    申请号:CN202310318974.3

    申请日:2023-03-29

    Abstract: 本发明提供了一种温度与壁面剪应力的时空同点位测量方法,涉及智能传感测量技术领域,本方法包括步骤S1:对多层复合的热膜传感器的电阻温度系数进行标定,分别获取上层热敏测温单元和下层壁面剪应力热敏单元的电阻温度系数;S2:将多层复合的热膜传感器置于扁平槽道内;S3:通过预设流程测量工作电阻和工作电压,并进行测试;S4:通过调整扁平槽道内流体的温度和壁面剪应力,得到流体温度、壁面剪应力、上层热敏测温单元测量温度和下层壁面剪应力热敏单元的输出电压的数据信息。本方法能够实现柔性热敏传感器对温度和流体壁面剪应力的同时空准确测量。

    一种亚波长金属光栅偏振器件结构及其晶圆级制造方法

    公开(公告)号:CN118567020B

    公开(公告)日:2024-12-13

    申请号:CN202411034443.2

    申请日:2024-07-31

    Abstract: 本发明提供了一种亚波长金属光栅偏振器件结构及其晶圆级制造方法,包括:基底;第一介质层,沉积于基底顶端;第二介质层,沉积于第一介质层顶端;多个介质光栅层,沉积于第二介质层顶端并沿第二介质层的长度方向间隔设置,每相邻的两个介质光栅层之间分别形成沟槽,各介质光栅层和第二介质层的材质具有相同的折射率,各介质光栅层的光栅周期小于入射光的入射波长;多个第一金属层,分别沉积于各沟槽内;多个第二金属层,分别沉积于各介质光栅层顶端,各第二金属层和各第一金属层的材质具有相同的介电常数。有益效果是本发明能够在获得优良偏振性能的同时减小微纳加工工艺难度,并实现亚波长金属光栅偏振器件结构的大面积、高保真、高效率制造。

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