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公开(公告)号：CN114563611A
公开(公告)日：2022-05-31
申请号：CN202210033997.5
申请日：2022-01-12
Applicant: 西北工业大学宁波研究院
Abstract: 本发明公开了一种MEMS微型电流传感器，属于传感器技术领域。所述微型电流传感器主要包括热驱动器部分Ⅰ和谐振器部分Ⅱ。所述热驱动器部分Ⅰ主要包括锚点1和V型梁2；所述V型梁2的两个开口端固定于锚点1上，另一端即尖端与谐振器部分Ⅱ相连。本发明利用电流的热效应使V型梁2膨胀产生热应力，改变谐振器一3的刚度，使谐振器一3和谐振器二6的幅值比改变。相较于现有技术，避免了外界的电磁干扰，在结构参数θ的优选范围内能够满足特定应用场景对传感器微型化、高精度和高鲁棒性的测量要求。
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