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公开(公告)号：CN117075243A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202310854561.7
申请日：2023-07-13
Applicant: 西北工业大学宁波研究院
Abstract: 本发明涉及一种多通道光谱滤波器件及其制作方法，滤波器件包括衬底，且在衬底上设有用于对入射光进行选频吸收或选频透过的若干个滤波通道；方法的步骤则包括：S1，提供衬底，在衬底上制备第一反射镜；S2，根据滤波通道尺寸结构和布局方式，确定各滤波通道位置，制造各滤波通道之间的挡板；S3，实施光刻工艺，经涂胶或喷胶、曝光、显影后，在不同滤波通道位置处获得具有不同图案和占空比的光刻胶图形；S4，采用光刻胶热回流工艺，使得各滤波通道位置处的光刻胶熔融回流，获得具有不同高度的固态光刻胶；S5，在各固态光刻胶顶部制备第二反射镜：通过本发明可以实现多通道光谱滤波结构的批量化制造，避免多次光刻，提高制造效率。
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公开(公告)号：CN117451654B
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202311220607.6
申请日：2023-09-21
Applicant: 宁波启朴芯微系统技术有限公司 , 西北工业大学宁波研究院
IPC: G01N21/3504 , G01N21/3518 , G01N21/01
Abstract: 本发明提供了一种检测煤矿气体的红外气体传感器及其使用方法，包括：安装组件和外壳；安装组件上设有光源和探测器；且光源与探测器均与微处理器电信号连接；探测器上开设有四个通道，四个通道内分别设置有测量水蒸气吸收光谱滤光片、测量甲烷吸收光谱滤光片、测量二氧化硫吸收光谱滤光片和参比吸收光谱滤光片；外壳的扣合于安装组件上，外壳的上端开设有安装孔，安装孔内设置滤网。本发明通过设置四个滤光片可以同时完成三种气体的检测，排除了水蒸气较强吸收性和气体吸收谱有交叠的问题，且有参考光路，更适合在煤矿等具有多种气体的环境中工作，使得测量的准确性更高；且将其放置于外壳中，体积更小，造价更便宜。
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公开(公告)号：CN117800280A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202311644645.4
申请日：2023-12-04
Applicant: 宁波启朴芯微系统技术有限公司 , 西北工业大学宁波研究院
Abstract: 本发明提供了一种多台阶微流道结构的工艺制备方法，包括：步骤S1，制备氧化硅掩膜层；步骤S2，制备两处第一开窗；步骤S3，腐蚀两个第一开窗下方的氧化硅掩膜层，并于光刻胶层上制备第二开窗；步骤S4，腐蚀两个第一开窗和第二开窗下方的氧化硅掩膜层，并于光刻胶层上制备第三开窗；步骤S5，腐蚀第一、第二、第三开窗下方的氧化硅掩膜层并于单晶硅上刻蚀得到流道结构；步骤S6，腐蚀第二、第三开窗下方的氧化硅掩膜层并于单晶硅上刻蚀得到深槽阶梯结构；步骤S7，腐蚀第三开窗下方的氧化硅掩膜层并于单晶硅上刻蚀得到浅槽阶梯结构；步骤S8，去除氧化硅掩膜层并于单晶硅上表面键合衬底进行晶圆级封装。有益效果是本发明可实现多种深度槽结构的制备。
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公开(公告)号：CN117451654A
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202311220607.6
申请日：2023-09-21
Applicant: 宁波启朴芯微系统技术有限公司 , 西北工业大学宁波研究院
IPC: G01N21/3504 , G01N21/3518 , G01N21/01
Abstract: 本发明提供了一种检测煤矿气体的红外气体传感器及其使用方法，包括：安装组件和外壳；安装组件上设有光源和探测器；且光源与探测器均与微处理器电信号连接；探测器上开设有四个通道，四个通道内分别设置有测量水蒸气吸收光谱滤光片、测量甲烷吸收光谱滤光片、测量二氧化硫吸收光谱滤光片和参比吸收光谱滤光片；外壳的扣合于安装组件上，外壳的上端开设有安装孔，安装孔内设置滤网。本发明通过设置四个滤光片可以同时完成三种气体的检测，排除了水蒸气较强吸收性和气体吸收谱有交叠的问题，且有参考光路，更适合在煤矿等具有多种气体的环境中工作，使得测量的准确性更高；且将其放置于外壳中，体积更小，造价更便宜。
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