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发明公开
一种基于MEMS线加速度计的角加速度测量装置无效

公开(公告)号：CN105259370A

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201510736376.3

申请日：2015-11-02

申请人： 西北工业大学

发明人： 齐蓉 , 张云飞 , 林辉 , 李兵强 , 杨渭滨

IPC分类号： G01P15/08

摘要： 本发明提供了一种基于MEMS线加速度计的角加速度测量装置，包括两块MEMS线加速度芯片和传感器圆盘，所述的传感器圆盘的圆心与转轴固连；两块MEMS线加速度芯片分别安装在传感器圆盘的边沿和圆心上，两块MEMS线加速度芯片的线加速度感应方向相互平行，并与传感器圆盘的半径方向垂直；当传感器圆盘随着转轴旋转时，将两块MEMS线加速度芯片输出的线加速度信号做差，就得到传感器圆盘的圆周旋转线加速度，再除以传感器圆盘的半径，就得到最终的旋转角加速度。本发明使角加速度传感器结构简单，可靠性高，并且在拥有较高的精度的同时，大大降低角加速度传感器成本。