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公开(公告)号：CN115591843B
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202211337588.0
申请日：2022-10-28
Applicant: 衡阳凯新特种材料科技有限公司
IPC: B08B3/02 , B08B1/20 , B08B1/30 , B08B13/00 , F26B5/16 , F26B5/14 , F26B5/08 , F26B9/06 , F26B21/00
Abstract: 本发明涉及氮化硅陶瓷材料领域，尤其涉及一种氮化硅陶瓷材料生产用清洗装置。技术问题：现有方式仅通过冲洗对轴套进行清洗，对孔洞粘结的水粉混合物不能清洗干净，且现有方式对氮化硅陶瓷轴套无烘干操作。技术方案：一种氮化硅陶瓷材料生产用清洗装置，包括有输送系统、清洗系统和烘干系统等；壳体安装有输送系统；壳体安装有清洗系统；壳体安装有烘干系统，且烘干系统位于清洗系统后方。本发明将轴套的各个部位清洗干净，并将氮化硅陶瓷轴套清洗后所残留的水吸附，避免再次与空气中的粉尘粘结；采用调整风向的方式进行烘干操作，使得轴套的各个部位均达到较好的干燥效果，投入使用的轴套品质得到大大提升，为设备的顺利运行提供良好的保障。
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公开(公告)号：CN116410005B
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202310361447.0
申请日：2023-04-06
Applicant: 衡阳凯新特种材料科技有限公司
IPC: C04B35/584 , C04B35/626 , B02C1/00 , B02C23/10 , B02C23/16 , F27B7/06 , F27B7/26
Abstract: 本发明涉及氮化硅粉末制备技术领域，具体为一种利用高温旋转炉合成氮化硅粉末的生产工艺，包括：首先将硅粉倒入到氮化硅粉末合成装置的高温旋转炉中，然后关闭高温旋转炉的进料口，氮化硅粉末合成装置包括高温旋转炉、研磨筛分装置、自动输送装置；然后使用真空泵将高温旋转炉内空气抽出，关闭真空泵，并向高温旋转炉内通入氮气；启动高温旋转炉，使硅粉在高温下与氮气发生反应生成氮化硅粉末；高温旋转炉内合成的氮化硅粉末通过自动输送装置输送至研磨筛分装置进行研磨及筛分。本发明通过利用高温旋转炉来合成氮化硅粉末，有效改善了现有的氮化硅粉末生产中，由于硅粉处于堆积状态，氮化过程中容易形成一层氮化硅壳，从而降低氮化速度的问题。
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公开(公告)号：CN117509568A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202311470596.7
申请日：2023-11-07
Applicant: 衡阳凯新特种材料科技有限公司 , 湖南大学
IPC: C01B21/068
Abstract: 本发明公开了一种超声酸洗辅助制备高纯氮化硅粉体的方法，包括以下步骤：S1：准备制备用的原料；S2：准备制备用的设备；S3：原料的预处理；S4：酸洗处理；S5：坯体的制备；S6：烘干；S7：烧结合成。本发明所述的一种超声酸洗辅助制备高纯氮化硅粉体的方法，本方法在制备过程中对氮气的纯度的要求较高，制备时不会产生氧化物，可以保证成品的质量，且素坯成型压力对硅粉的氮化率有显著影响，随着素坯密度增大，金属硅粉氮化率也逐渐减小，随着硅粉的起始粒度降低，金属硅粉氮化率与压力的依赖关系明显降低，本方法在40Mpa的压力下制备坯体是比较有利的，制备的氮化硅粉体有利于硅粉氮化率的提高。
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公开(公告)号：CN117080148B
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202311052976.9
申请日：2023-08-21
Applicant: 衡阳凯新特种材料科技有限公司
IPC: H01L21/683 , H01L21/67 , G05B19/04 , G01D21/02 , G06F16/2455
Abstract: 本发明涉及半导体设备技术领域，本发明提供了一种用于半导体装配的自动化静电吸盘控制系统，包括服务器、真空吸盘、半导体芯片、感应模块、控制模块、反馈模块和通讯模块，感应模块对静电吸盘与半导体芯片的接触数据，并根据接触数据对静电吸盘与半导体芯片之间的接触质量进行评估，并将评估结果传输给控制模块，反馈模块监测环境参数并反馈至控制模块中，控制模块基于评估结果和反馈模块的反馈数据，调整静电吸盘的电荷强度，以维持半导体芯片的稳定夹持，通讯模块用于与外部设备通信，获取操作指令或发送状态报告。本发明通过感应模块和所述控制模块的配合，保证静电吸盘对半导体设备的吸附的质量，提升静电吸盘的吸附的可靠性和精准性。
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公开(公告)号：CN117316852A
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202311358981.2
申请日：2023-10-19
Applicant: 衡阳凯新特种材料科技有限公司
IPC: H01L21/683 , H01L21/67
Abstract: 本发明涉及一种具有不同导热性能的氮化硅静电吸盘，该静电吸盘包括基座、吸盘主体和导热腔体，导热腔体设置在基座和吸盘主体之间，导热腔体包括腔体和导热介质。本发明通过单独设置导热腔体，使得静电吸盘随着导热腔体内导热介质的不同而具有不同的导热性能，从而能够适用真空和不同的等离子体环境。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117080120A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202311045353.9
申请日：2023-08-18
Applicant: 衡阳凯新特种材料科技有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/683
Abstract: 本发明涉及半导体制造与材料处理技术领域，本发明提供了一种氮化硅静电吸盘的自动化控制系统，包括服务器、待吸附物、感应模块、温度控制模块、电场调节模块，感应模块实时检测氮化硅静电吸盘的状态数据，温度控制模块根据感应模块的状态数据调节氮化硅静电吸盘的温度数据，电场调节模块根据感应模块感应得到氮化硅静电吸盘的状态数据、温度数据和吸附物的重量数据对氮化硅静电吸盘的吸附进行评估，并根据评估结果自动调整电场强度。本发明通过温度控制模块和电场调节模块相互配合，提升氮化硅静电吸盘的吸附质量，最大限度保证吸附物表面的质量不被损坏，使得氮化硅静电吸盘具有吸附力控制精度高和交互性能好的优点。
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公开(公告)号：CN116429418A
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202310227703.7
申请日：2023-03-10
Applicant: 衡阳凯新特种材料科技有限公司
IPC: G01M13/04
Abstract: 本发明实施例公开了一种氮化硅轴承球检测设备，括有支撑架、第一安装架和动力组件；所述动力组件用于提供动力。采用本发明，具有使支撑杆推动氮化硅轴承球挤压密封罩弧形槽的内壁，从而模拟氮化硅轴承球承受外界额外静态压力的情况，第二平齿轮带动转筒和其中的支撑单元转动，进而使氮化硅轴承球贴合密封罩弧形槽内壁运动，当第一弧形块经过第二弧形块时，使氮化硅轴承球挤压密封罩弧形槽内壁的力发生变化，从而模拟氮化硅轴承球承受外界额外动态压力的情况，保证检测结果的全面性的优点，解决了现有设备未对轴承球在轴承实际使用受力的情况进行模拟，检测结果不够全面的问题。
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公开(公告)号：CN118417152A
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202410612432.1
申请日：2024-05-17
Applicant: 衡阳凯新特种材料科技有限公司
Abstract: 本发明涉及筛选设备相关技术领域，具体是一种制备氮化硅的微硅粉细选装置及其使用方法，所述制备氮化硅的微硅粉细选装置包括两个相对设置的支撑座以及固定安装在两个所述支撑座之间的圆筒，且所述圆筒的底部为导通结构设置；所述制备氮化硅的微硅粉细选装置还包括：第一板件、第二板件，二者活动设于所述圆筒中，并与所述圆筒的内壁密封滑动贴合，且所述第一板件上设有用于对硅粉进行筛分的筛网，所述第一板件与所述第二板件与安装在所述圆筒上部的动力机构连接，通过各个机构及部件之间的相互配合，利用所述第一板件与第二板件在所述圆筒中的转动，使得所述第一板件上的筛网对硅粉产生冲击，加快硅粉通过筛网的速度，提升筛分效率。
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公开(公告)号：CN118087093A
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202410206115.X
申请日：2024-02-26
Applicant: 衡阳凯新特种材料科技有限公司
IPC: D01F9/10 , C04B35/589 , C04B35/622 , C04B35/624
Abstract: 本发明提供一种氮化硅纤维的制备方法，包括：原料准备，准备硅源和氮源；溶液制备，将硅源和氮源混合在有机溶剂中溶解制备成溶液；添加适量的催化剂，促使硅源和氮源之间的混合反应；纤维制备，纺丝，将溶液通过纺丝装置喷射或旋转，形成氮化硅纤维的初步结构；凝胶化，通过加入交联剂进行化学反应使硅源和氮源之间形成化学键，使纤维的初步结构发生凝胶化，生成氮化硅凝胶；热处理，在惰性气氛中，将氮化硅凝胶进行高温热处理，高温热处理有助于形成氮化硅的晶体结构；表面处理，通过表面处理剂对氮化硅纤维进行表面处理。通过对聚硅醚、聚硅氧烷和氨气混合制备溶液，对溶液进行纺丝，凝胶化和热处理过程得到氮化硅纤维降低了生产成本。
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公开(公告)号：CN118046474A
公开(公告)日：2024-05-17
申请号：CN202410376575.7
申请日：2024-03-29
Applicant: 衡阳凯新特种材料科技有限公司
Abstract: 本发明涉及陶瓷生产系统的技术领域，提供了一种高韧性多色氮化硅陶瓷生产系统和方法，包括色彩调制终端、陶瓷制备终端、应用测试终端和反馈控制终端；色彩调制终端用于将氮化硅粉体和颜色粉体进行混合处理；陶瓷制备终端用于将混合后的陶瓷材料进行成型处理和烧结处理；应用测试终端用于对生产的陶瓷进行测试和评估，生成质检评估信息；反馈控制终端用于根据质检评估信息生成反馈控制信息并发送至色彩调制终端和陶瓷制备终端。本发明具有提高陶瓷成品的制备质量的效果。
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