公开(公告)号：CN102834545B

公开(公告)日：2015-04-08

申请号：CN201180011350.2

申请日：2011-02-23

Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织TNO ,  视觉动力控股有限公司

Inventor： 阿德里亚努斯·约翰尼斯·皮德勒斯·玛利亚·弗米尔 ,  雨果·安东·玛丽·德翰

IPC: C23C16/02 ,  C23C16/04 ,  C23C16/54 ,  C23C16/455 ,  H01J37/32

Abstract: 一种在基板表面沉积层的方法，该方法包括：将来自前体供应部的前体气体喷入沉积腔以接触基板表面，将部分喷入的前体气体从沉积腔中排出，并沿着基板表面的平面使沉积腔和基板彼此相对定位；该方法进一步包括：提供第一电极和第二电极，使第一电极与基板彼此相对定位，并通过在第一电极与第二电极之间产生高压差在基板附近产生等离子体放电以接触基板；该方法包括：选择性地产生等离子体放电，以利用等离子体在基板表面形成图案，从而使与前体气体接触的基板的一部分和与等离子体接触的基板的一部分选择性地重叠。

公开(公告)号：CN102834545A

公开(公告)日：2012-12-19

申请号：CN201180011350.2

申请日：2011-02-23

Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织TNO ,  视觉动力控股有限公司

Inventor： 阿德里亚努斯·约翰尼斯·皮德勒斯·玛利亚·弗米尔 ,  雨果·安东·玛丽·德翰

IPC: C23C16/02 ,  C23C16/04 ,  C23C16/54 ,  C23C16/455 ,  H01J37/32

Abstract: 一种在基板表面沉积层的方法，该方法包括：将来自前体供应部的前体气体喷入沉积腔以接触基板表面，将部分喷入的前体气体从沉积腔中排出，并沿着基板表面的平面使沉积腔和基板彼此相对定位；该方法进一步包括：提供第一电极和第二电极，使第一电极与基板彼此相对定位，并通过在第一电极与第二电极之间产生高压差在基板附近产生等离子体放电以接触基板；该方法包括：选择性地产生等离子体放电，以利用等离子体在基板表面形成图案，从而使与前体气体接触的基板的一部分和与等离子体接触的基板的一部分选择性地重叠。