公开(公告)号：CN103765253A

公开(公告)日：2014-04-30

申请号：CN201280039162.5

申请日：2012-06-07

Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织TNO ,  荷兰太空研究所SRON基金会

Inventor： 亨利·约翰尼斯·彼得勒斯·文克 ,  H·菲瑟 ,  阿勒德特·希德·范·阿默荣恩

IPC: G02B5/18 ,  G02B5/00 ,  G02B27/44

CPC classification number: G02B27/4244 ,  G01J3/18 ,  G01J3/1804 ,  G01J3/24 ,  G02B5/008 ,  G02B5/1828 ,  G02B5/1852 ,  G02B5/1857 ,  G02B5/1866 ,  H01S3/08009 ,  H01S3/092 ,  H01S3/0933 ,  H01S3/1636

Abstract: 公开了一种制造光栅的方法，所述光栅用于对射入所述光栅的光进行角色散。所述光栅包括渐窄结构以及腔。变化腔宽度和/或波纹幅度，以实现计算的期望的光栅效率。公开了用于方便地创建具有可变腔宽度和/或波纹幅度的光栅的方法。所述方法包括将槽图案各向异性地蚀刻到主光栅中的步骤。可选地，产生与所述主光栅互补的副本。通过变化抗蚀剂图案，可以变化所述光栅的腔宽度，从而允许向着不同效率目标进行优化。

公开(公告)号：CN103765253B

公开(公告)日：2017-04-05

申请号：CN201280039162.5

申请日：2012-06-07

Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织TNO ,  荷兰太空研究所 SRON基金会

Inventor： 亨利·约翰尼斯·彼得勒斯·文克 ,  H·菲瑟 ,  阿勒德特·希德·范·阿默荣恩

IPC: G02B5/18 ,  G02B5/00 ,  G02B27/44

CPC classification number: G02B27/4244 ,  G01J3/18 ,  G01J3/1804 ,  G01J3/24 ,  G02B5/008 ,  G02B5/1828 ,  G02B5/1852 ,  G02B5/1857 ,  G02B5/1866 ,  H01S3/08009 ,  H01S3/092 ,  H01S3/0933 ,  H01S3/1636

Abstract: 公开了一种制造光栅的方法，所述光栅用于对射入所述光栅的光进行角色散。所述光栅包括渐窄结构以及腔。变化腔宽度和/或波纹幅度，以实现计算的期望的光栅效率。公开了用于方便地创建具有可变腔宽度和/或波纹幅度的光栅的方法。所述方法包括将槽图案各向异性地蚀刻到主光栅中的步骤。可选地，产生与所述主光栅互补的副本。通过变化抗蚀剂图案，可以变化所述光栅的腔宽度，从而允许向着不同效率目标进行优化。