公开(公告)号：CN104203433A

公开(公告)日：2014-12-10

申请号：CN201380014696.7

申请日：2013-02-06

Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织TNO

Inventor： I·G·德弗里斯 ,  H·A·J·M·安德生 ,  A·朗根

IPC: B05D7/04 ,  C23C14/56 ,  B05C9/12

CPC classification number: B05B13/0221 ,  B05B13/0207 ,  B05C9/08 ,  B05C9/14 ,  B05D1/38 ,  B05D3/0254 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/6719

Abstract: 提供生产设备用于在箔(FO)上生产产品。该生产设备包括有洁净室形成的沉积区(10)，其中排列至少第一和第二沉积设备(21，22)用于在箔上沉积一层材料。生产设备还包括至少一个加工设备(31)用于加工所述沉积的层，所述加工设备排列在所述沉积区以外并且包括具有远离所述沉积区、朝向转向设备(41)的第一路径(31a)和从所述转向设备回到所述沉积区的第二路径(31b)的加工轨迹。