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公开(公告)号：CN105829970B
公开(公告)日：2020-07-14
申请号：CN201480070395.0
申请日：2014-10-29
Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织TNO
Inventor： 罗伯·雅各布·海德律克斯 , 爱得斯格·康斯坦·彼得·斯米茨 , 桑迪普·梅农·佩林什里 , 宾·格伦
Abstract: 本发明涉及基底上的电路图案以及用于形成基底上的电路图案的方法和系统。在典型的实施例中，光图案被投射至穿过透明层，以使连续材料层和透明层之间的粘附性图案化释放。从基底上撕下被粘附于图案化的材料层的释放层，以分离具有较低粘附性的材料，同时留下未被曝光的材料以在其上形成电路图案。
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公开(公告)号：CN105916696B
公开(公告)日：2018-08-17
申请号：CN201480070602.2
申请日：2014-10-29
Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织TNO
Inventor： 罗伯·雅各布·海德律克斯 , 加里·阿鲁季诺夫 , 爱得斯格·康斯坦·彼得·斯米茨
CPC classification number: G03F7/7015 , B41M3/006 , B41M5/46 , B41M2205/14
Abstract: 本揭示内容涉及用以在受体基底(4)上提供图案化结构(3p)的方法及系统。该方法包括：提供供体基底(10)，供体基底(10)被配置在光源(5)与受体基底(4)之间。掩模(7)被配置在该光源(5)与该供体基底(10)之间。该掩模(7)包含一掩模图案(7p)用以图案化光线(6)。经图案化的光线(6p)射向该供体基底(10)致使该供体材料(3)从该供体基底(10)释出以及转移到该受体基底(4)，以在受体基底(4)上形成该图案化结构(3p)。经图案化的光线(6p)被掩模图案(7p)分成多条分离的大小均匀的光束(6b)，多条分离的大小均匀的光束(6b)同时射向供体基底(10)，以致使该供体材料(3)从该供体基底(10)以分离的大小均匀的微滴(3d)的形式释出。
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公开(公告)号：CN105916696A
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：CN201480070602.2
申请日：2014-10-29
Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织TNO
Inventor： 罗伯·雅各布·海德律克斯 , 加里·阿鲁季诺夫 , 爱得斯格·康斯坦·彼得·斯米茨
CPC classification number: G03F7/7015 , B41M3/006 , B41M5/46 , B41M2205/14
Abstract: 本揭示内容涉及用以在受体基底(4)上提供图案化结构(3p)的方法及系统。该方法包括：提供供体基底(10)，供体基底(10)被配置在光源(5)与受体基底(4)之间。掩模(7)被配置在该光源(5)与该供体基底(10)之间。该掩模(7)包含一掩模图案(7p)用以图案化光线(6)。经图案化的光线(6p)射向该供体基底(10)致使该供体材料(3)从该供体基底(10)释出以及转移到该受体基底(4)，以在受体基底(4)上形成该图案化结构(3p)。经图案化的光线(6p)被掩模图案(7p)分成多条分离的大小均匀的光束(6b)，多条分离的大小均匀的光束(6b)同时射向供体基底(10)，以致使该供体材料(3)从该供体基底(10)以分离的大小均匀的微滴(3d)的形式释出。
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公开(公告)号：CN105829970A
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201480070395.0
申请日：2014-10-29
Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织TNO
Inventor： 罗伯·雅各布·海德律克斯 , 爱得斯格·康斯坦·彼得·斯米茨 , 桑迪普·梅农·佩林什里 , 宾·格伦
Abstract: 本发明涉及基底上的电路图案以及用于形成基底上的电路图案的方法和系统。在典型的实施例中，光图案被投射至穿过透明层，以使连续材料层和透明层之间的粘附性图案化释放。从基底上撕下被粘附于图案化的材料层的释放层，以分离具有较低粘附性的材料，同时留下未被曝光的材料以在其上形成电路图案。
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