公开(公告)号：CN108027389B

公开(公告)日：2021-09-24

申请号：CN201680049630.5

申请日：2016-07-14

Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织TNO

Inventor： 哈迈德·萨迪吉安·马南 ,  贾斯珀·温特斯 ,  威廉姆·爱德华·克劳孔布

IPC: G01Q10/04 ,  B23Q1/34 ,  G01B5/00 ,  G12B5/00

Abstract: 本发明涉及用于相对于表面定位表面扫描测量设备(诸如扫描探针显微镜设备)的扫描头的定位臂。定位臂包括在其第一端的基座，用于用基座将臂安装到静态参考结构。定位臂进一步包括从基座伸展的第一臂构件和第二臂构件，第二臂构件平行于第一臂构件伸展。臂包括在其第二端连接第一臂构件和第二臂构件的桥构件。第一臂构件和第二臂构件通过能形成铰链的连接部分别连接到基座和桥构件中的每一个。定位臂进一步包括致动器，用于在第一臂构件和第二臂构件之间在第一臂构件和第二臂构件的纵向方向上引起相对位移，以在横向于横向位移的方向上摆动定位臂的第二端。桥构件包括用于支撑扫描头的支撑部。

公开(公告)号：CN108027389A

公开(公告)日：2018-05-11

申请号：CN201680049630.5

申请日：2016-07-14

Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织TNO

Inventor： 哈迈德·萨迪吉安·马南 ,  贾斯珀·温特斯 ,  威廉姆·爱德华·克劳孔布

IPC: G01Q10/04 ,  B23Q1/34 ,  G01B5/00 ,  G12B5/00

CPC classification number: G01Q10/04 ,  B23Q1/34 ,  B23Q2717/00

Abstract: 本发明涉及用于相对于表面定位表面扫描测量设备(诸如扫描探针显微镜设备)的扫描头的定位臂。定位臂包括在其第一端的基座，用于用基座将臂安装到静态参考结构。定位臂进一步包括从基座伸展的第一臂构件和第二臂构件，第二臂构件平行于第一臂构件伸展。臂包括在其第二端连接第一臂构件和第二臂构件的桥构件。第一臂构件和第二臂构件通过能形成铰链的连接部分别连接到基座和桥构件中的每一个。定位臂进一步包括致动器，用于在第一臂构件和第二臂构件之间在第一臂构件和第二臂构件的纵向方向上引起相对位移，以在横向于横向位移的方向上摆动定位臂的第二端。桥构件包括用于支撑扫描头的支撑部。