公开(公告)号：CN105555416A

公开(公告)日：2016-05-04

申请号：CN201480047803.0

申请日：2014-07-28

Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织TNO

Inventor： 伊凯·格克·德·弗里斯 ,  马尔滕·范·兰特 ,  耶罗·安东纽斯·斯梅尔廷克

IPC: B05C5/02 ,  B05B13/04

CPC classification number: C23C16/52 ,  B05B13/0473 ,  B05C3/02 ,  B05C5/0254 ,  B05C5/0258 ,  B05C11/1018

Abstract: 一种用于在基底(1)上制造带图案的涂层(3)的槽模涂布设备，包括基底载体(6)、涂布装置、传感器装置(70)和控制器(80)。基底载体(6)被布置在用于设置所述基底(1)的支架上。所述涂布装置包括能够通过电动机(52，56)相对于彼此相互移动的头侧单元和支撑侧单元(50，55；52)。所述头侧单元包括平移器部件(52)和槽模涂布头(2)。所述支撑侧单元(55)包括所述电动机的定子部件(56)。控制器(80)控制所述电动机(52)以将槽模涂布头定位在期望的距离(Ds)处。所述支撑侧单元(55)具有至少等于所述头侧单元(50)的质量的质量，并且所述支撑侧单元(55)被柔性地联接到所述支架(60)。

公开(公告)号：CN105555416B

公开(公告)日：2018-05-11

申请号：CN201480047803.0

申请日：2014-07-28

Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织TNO

Inventor： 伊凯·格克·德·弗里斯 ,  马尔滕·范·兰特 ,  耶罗·安东纽斯·斯梅尔廷克

IPC: B05C5/02 ,  B05B13/04

CPC classification number: C23C16/52 ,  B05B13/0473 ,  B05C3/02 ,  B05C5/0254 ,  B05C5/0258 ,  B05C11/1018

Abstract: 一种用于在基底(1)上制造带图案的涂层(3)的槽模涂布设备，包括基底载体(6)、涂布装置、传感器装置(70)和控制器(80)。基底载体(6)被布置在用于设置所述基底(1)的支架上。所述涂布装置包括能够通过电动机(52，56)相对于彼此相互移动的头侧单元和支撑侧单元(50，55；52)。所述头侧单元包括平移器部件(52)和槽模涂布头(2)。所述支撑侧单元(55)包括所述电动机的定子部件(56)。控制器(80)控制所述电动机(52)以将槽模涂布头定位在期望的距离(Ds)处。所述支撑侧单元(55)具有至少等于所述头侧单元(50)的质量的质量，并且所述支撑侧单元(55)被柔性地联接到所述支架(60)。