公开(公告)号：CN102144310A

公开(公告)日：2011-08-03

申请号：CN200980134731.2

申请日：2009-08-05

Applicant: 荷兰应用科学研究会(TNO) ,  皇家飞利浦电子股份有限公司

Inventor： C·塔纳斯 ,  E·德科姆佩内尔 ,  H·利夫卡 ,  I·德弗里斯 ,  A·M·B·范莫尔

IPC: H01L51/00

CPC classification number: H01L51/5203 ,  H01L2251/5338 ,  H01L2251/5361

Abstract: 一种包括衬底(20；120)的电输送部件(10；110；310；60)，所述电输送部件(10；110；310；60)设置有屏障结构以及分布在由有机解耦层界定的平面中的至少一个导电结构(14；114；314；414；414-1，414-2；514；614-1，614-2；64)，所述屏障结构具有第一无机层(16；116；66)、有机解耦层(12；112；62)和第二无机层(18；118；68)，其中所述有机解耦层夹在所述第一和第二无机层之间，所述导电结构容纳在所述有机解耦层中的至少一个沟槽(13；113)中。一种制造电输送部件的方法包括如下步骤：a)设置第一无机层，b)设置第一有机解耦层，c)在所述有机解耦层中形成至少一个沟槽，d)在所述至少一个沟槽中沉积导电材料，e)设置第二无机层。可以将该部件应用于例如光电和电光器件中。

公开(公告)号：CN102144310B

公开(公告)日：2013-08-28

申请号：CN200980134731.2

申请日：2009-08-05

Applicant: 荷兰应用科学研究会(TNO) ,  皇家飞利浦电子股份有限公司

Inventor： C·塔纳斯 ,  E·德科姆佩内尔 ,  H·利夫卡 ,  I·德弗里斯 ,  A·M·B·范莫尔

IPC: H01L51/00

CPC classification number: H01L51/5203 ,  H01L2251/5338 ,  H01L2251/5361

Abstract: 一种包括衬底(20；120)的电输送部件(10；110；310；60)，所述电输送部件(10；110；310；60)设置有屏障结构以及分布在由有机解耦层界定的平面中的至少一个导电结构(14；114；314；414；414-1，414-2；514；614-1，614-2；64)，所述屏障结构具有第一无机层(16；116；66)、有机解耦层(12；112；62)和第二无机层(18；118；68)，其中所述有机解耦层夹在所述第一和第二无机层之间。所述导电结构容纳在所述有机解耦层中的至少一个沟槽(13；113)中。一种制造电输送部件的方法包括如下步骤：a)设置第一无机层，b)设置第一有机解耦层，c)在所述有机解耦层中形成至少一个沟槽，d)在所述至少一个沟槽中沉积导电材料，e)设置第二无机层。可以将该部件应用于例如光电和电光器件中。