公开(公告)号：CN109900717B

公开(公告)日：2024-10-18

申请号：CN201811497035.5

申请日：2018-12-07

申请人： 英飞凌科技股份有限公司

发明人： R.穆尔 ,  N.西德尔

IPC分类号： G01N21/95 ,  G01N21/88 ,  H01L21/66 ,  G01B11/30

摘要： 提供了使用斜率数据的用于半导体衬底的检查方法及检查装置。检查方法包括通过使用检查装置（300）记录来自半导体衬底（110）的主表面（111）的检查区域（120）中的测量点的第一数据（810），其中检查区域（120）旋绕主表面（111）的中心点（105）且其中第一数据（810）包括关于主表面（111）在测量点处沿第一方向的斜率的信息，第一方向偏离与包含测量点且使其中心在中心点（105）的圆相切的方向不超过±60°。数据处理装置（400）分析第一数据（810）以获得主表面（111）上的在其处第一数据（810）满足预定准则的地方的位置数据（830）。通过数据接口单元（490）输出位置数据（830）。

公开(公告)号：CN109900717A

公开(公告)日：2019-06-18

申请号：CN201811497035.5

申请日：2018-12-07

申请人： 英飞凌科技股份有限公司

发明人： R.穆尔 ,  N.西德尔

IPC分类号： G01N21/95 ,  G01N21/88 ,  H01L21/66 ,  G01B11/30

摘要： 提供了使用斜率数据的用于半导体衬底的检查方法及检查装置。检查方法包括通过使用检查装置（300）记录来自半导体衬底（110）的主表面（111）的检查区域（120）中的测量点的第一数据（810），其中检查区域（120）旋绕主表面（111）的中心点（105）且其中第一数据（810）包括关于主表面（111）在测量点处沿第一方向的斜率的信息，第一方向偏离与包含测量点且使其中心在中心点（105）的圆相切的方向不超过±60°。数据处理装置（400）分析第一数据（810）以获得主表面（111）上的在其处第一数据（810）满足预定准则的地方的位置数据（830）。通过数据接口单元（490）输出位置数据（830）。