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公开(公告)号：CN113517329A
公开(公告)日：2021-10-19
申请号：CN202110380972.8
申请日：2021-04-09
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Inventor： M·施特歇尔 , H·格鲁伯 , T·欣德雷
IPC: H01L29/06 , H01L27/02 , H01L23/64
Abstract: 本申请的实施例涉及具有两个电压域的装置和方法。所提供的装置具有被隔离屏障分离的第一电压域和第二电压域。此外，该装置包括划痕检测电路，该划痕检测电路包括间距小于2μm的第一和第二电极。
