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公开(公告)号:CN107121221A
公开(公告)日:2017-09-01
申请号:CN201610101653.8
申请日:2016-02-24
Applicant: 英属开曼群岛商智动全球股份有限公司
CPC classification number: G01L1/16 , B81B2201/0271 , B81C1/00015 , G01L19/04
Abstract: 本发明提供一种微传感器及其制造方法。其中微传感器包括第一基板以及第二基板。第一基板具有形成有凹槽的表面。第二基板具有感测结构,其中第一基板形成有凹槽的表面与第二基板接合,以将凹槽密封住,使凹槽中的气压值为定值。另提供一种传感器的制造方法。本发明提供的微传感器可感测外界压力的变化,本发明另提供的微传感器的制造方法可制造出具环境感测能力的微传感器。
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公开(公告)号:CN107121223A
公开(公告)日:2017-09-01
申请号:CN201610102497.7
申请日:2016-02-24
Applicant: 英属开曼群岛商智动全球股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种微机电力量传感器,其包括第一基板、第二基板以及多个导电端子。第二基板与第一基板对向配置且包括可形变部以及受力部。可形变部具有多个感测组件。受力部凸出于可形变部背对第一基板的表面,而在可形变部上围设出凹槽。导电端子与感测组件电性连接,且导电端子集中配置在凹槽的下方。第二基板通过导电端子而固定在第一基板上。另提供一种力量感测装置。本发明提供的微机电力量传感器可感测施加在微机电力量传感器上的力量变化,同时本发明提供的力量感测装置可感测施加在力量感测装置上的力量变化。
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公开(公告)号:CN108344530A
公开(公告)日:2018-07-31
申请号:CN201710059682.7
申请日:2017-01-24
Applicant: 英属开曼群岛商智动全球股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种力量传感器,包括一座体、一感测元件、一弹性胶体及一按压件。感测元件配置在座体上且电性连接于座体。弹性胶体配置在座体上且包覆感测元件。按压件配置在弹性胶体上,且用于受力而按压弹性胶体以使弹性胶体产生弹性变形。感测元件用于感测弹性胶体的弹性变形而产生感测信号。
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公开(公告)号:CN108534924A
公开(公告)日:2018-09-14
申请号:CN201710124490.X
申请日:2017-03-03
Applicant: 英属开曼群岛商智动全球股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种力量感测器,包括感测元件及电路板。感测元件具有相对的顶面及底面且具有感测部,其中感测部位于顶面。电路板配置于顶面上且电性连接于感测元件,其中感测部适于通过从电路板往顶面传递的外力而产生感测信号。
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