公开(公告)号：CN203787403U

公开(公告)日：2014-08-20

申请号：CN201420163718.8

申请日：2014-04-04

Applicant: 英利能源(中国)有限公司

Inventor： 戎帅 ,  王正奇 ,  付威 ,  胡亚男

IPC: H01L21/677 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 本实用新型提供了一种石英舟运载装置和硅片扩散设备，石英舟运载装置包括：机身；用于运载石英舟的移动部，可移动地设置在机身上；第一标识部，设置在移动部上；第二标识部，设置在所机身的预设位置处，第一标识部在移动部停止在预设位置的情况下与第二标识部相对应。当移动部准确地到达预设位置时，第一标识部与第二标识部就会互相对应，所以若移动部发生了偏移，工作人员能够第一时间发现偏移现象，并作出调整，使移动部回到正常位置，从而避免由于移动部发生偏移导致硅片与石英舟发生磕碰并损坏，降低了硅片的损失，提高了硅片的成品合格率。

公开(公告)号：CN205062233U

公开(公告)日：2016-03-02

申请号：CN201520804265.7

申请日：2015-10-15

Applicant: 英利能源(中国)有限公司

Inventor： 戎帅 ,  于波 ,  陈志军 ,  任秀强 ,  田涛

IPC: C30B31/16

Abstract: 本实用新型提供了一种扩散炉和尾气管保护装置，该尾气管保护装置包括：隔离管；定位环，定位环套设在隔离管的外侧。本实用新型中的尾气管保护装置解决了现有技术中的扩散炉内的尾气管容易与炉管粘接到一起的问题。

公开(公告)号：CN202766660U

公开(公告)日：2013-03-06

申请号：CN201220428332.6

申请日：2012-08-24

Applicant: 英利能源(中国)有限公司

Inventor： 戎帅

IPC: C30B31/16

Abstract: 本实用新型提供了一种尾气管的垫块和炉管。垫块包括：本体，本体上设置有用于放置尾气管的凹部。本实用新型通过在炉管和尾气管之间设置的垫块，可将尾气管的一端抵靠在垫块的凹部处，从而将尾气管与炉管隔开，以实现将尾气管稳定地放置在炉管内。拆卸尾气管时，只需将尾气管轻轻拔出即可，不会破坏炉管的结构。

公开(公告)号：CN205088336U

公开(公告)日：2016-03-16

申请号：CN201520844608.2

申请日：2015-10-28

Applicant: 英利能源(中国)有限公司

Inventor： 胡亚男 ,  戎帅

IPC: C30B31/00 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 本实用新型公开了一种硼扩散炉的炉门，包括石英炉门本体，该炉门还包括与所述石英炉门本体的内端面相连，且在所述石英炉门本体关闭时嵌入炉管内的石英挡盘，所述石英挡盘的直径与所述炉管的直径相等。由于在石英炉门本体的内端面上设置了石英挡盘，该石英挡盘的直径与炉管的直径相等，并且在石英炉门本体关闭时该石英挡盘可以嵌入炉管内，因而该石英挡盘可以有效阻止炉管内的硼源与石英炉门本体接触，大部分的硼源将被石英挡盘阻挡在远离石英炉门本体的位置，这就减少了硼源与石英炉门本体发生的化学反应，延缓了石英炉门本体被腐蚀的速度，因此也就延长了炉门的使用寿命。本实用新型还公开了一种具有上述炉门的硼扩散炉。

公开(公告)号：CN203883027U

公开(公告)日：2014-10-15

申请号：CN201420075372.6

申请日：2014-02-21

Applicant: 英利能源(中国)有限公司

Inventor： 戎帅 ,  赵鹏

IPC: H01L31/18 ,  H01L21/228 ,  H01L21/67 ,  C30B31/10

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 本实用新型公开了一种扩散炉用硼扩散炉管，属于专门适用于制造或处理半导体器件的设备。本实用新型包括管体、进气管、尾气管和校温管，所述进气管位于管体前端的侧壁上，所述尾气管位于管体尾端端面的中心位置，所述校温管与尾气管位于同一端面。使用本实用新型的炉管进行硼工艺时，三溴化硼气体进气管进入，经排风从尾端的尾气管排出，炉管内部不涉及石英材质的器件，因此硼扩散反应产生的硼硅玻璃不会导致粘连问题，可以大大延长炉管的使用寿命，也间接提高了生产效率，降低了生产成本。

公开(公告)号：CN203076288U

公开(公告)日：2013-07-24

申请号：CN201320074481.1

申请日：2013-02-17

Applicant: 英利能源(中国)有限公司

Inventor： 戎帅

IPC: B08B9/032 ,  B08B15/04 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 本实用新型公开了一种新型石英器件清洗结构，通过在尾气管通入经过水浴加热的补偿氮气，对尾气管和S弯头部位进行清洗，防止被氧化硼粉末堵住，从而保证扩散工艺的正常运行。与现有技术中采用冷的纯水进行冲洗，引起骤冷造成石英器件断裂相比，不会损伤尾气管和S弯头，避免了生产成本的浪费。本实用新型提供的新型石英器件清洗结构，保证了硼扩散工艺的稳定性；同时，在设备运行的过程中就可以实现清洗，减少了维护次数，降低了成本，提高了N型电池的成本竞争优势。