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1.

发明授权
一种离合组件及其MOCVD设备有权转让

公开(公告)号：CN109112505B

公开(公告)日：2020-12-01

申请号：CN201811049002.4

申请日：2018-09-10

申请人： 苏州雨竹机电有限公司

发明人： 袁素 , 李天芬 , 张金

IPC分类号： C23C16/458 , C23C16/18

摘要： 本发明公开了一种离合组件及其MOCVD设备，包括，第一电磁铁、第二电磁铁、第一离合盘、第二离合盘，第一离合盘、第二离合盘通过相互压紧、摩擦的方式咬紧；第一离合盘安装在调速轴一端，调速轴另一端穿过调速顶盖后与调速齿轮装配固定；第二离合盘与离合筒一端装配固定，离合筒内侧与驱动轴底部可轴向上移动装配；离合筒顶部穿过离合隔板后与离合驱动板可周向转动装配，离合驱动板两端分别通过离合驱动杆与驱动连接板一端装配固定，驱动连接板设置在驱动机构上；驱动连接板还与第二伸缩轴一端装配固定，第二伸缩轴另一端穿过下限位板后与第二电磁铁装配。本发明通过托盘组件实现了托盘在转动的同时还在水平方向上摆动，从而保证托盘受热均匀。