一种离合组件及其MOCVD设备
摘要:
本发明公开了一种离合组件及其MOCVD设备,包括,第一电磁铁、第二电磁铁、第一离合盘、第二离合盘,第一离合盘、第二离合盘通过相互压紧、摩擦的方式咬紧;第一离合盘安装在调速轴一端,调速轴另一端穿过调速顶盖后与调速齿轮装配固定;第二离合盘与离合筒一端装配固定,离合筒内侧与驱动轴底部可轴向上移动装配;离合筒顶部穿过离合隔板后与离合驱动板可周向转动装配,离合驱动板两端分别通过离合驱动杆与驱动连接板一端装配固定,驱动连接板设置在驱动机构上;驱动连接板还与第二伸缩轴一端装配固定,第二伸缩轴另一端穿过下限位板后与第二电磁铁装配。本发明通过托盘组件实现了托盘在转动的同时还在水平方向上摆动,从而保证托盘受热均匀。
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