发明授权
- 专利标题: 一种离合组件及其MOCVD设备
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申请号: CN201811049002.4申请日: 2018-09-10
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公开(公告)号: CN109112505B公开(公告)日: 2020-12-01
- 发明人: 袁素 , 李天芬 , 张金
- 申请人: 苏州雨竹机电有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区苏虹中路39号2幢2楼西侧
- 专利权人: 苏州雨竹机电有限公司
- 当前专利权人: 苏州雨竹机电有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区苏虹中路39号2幢2楼西侧
- 代理机构: 北京高航知识产权代理有限公司
- 代理商 刘艳玲
- 主分类号: C23C16/458
- IPC分类号: C23C16/458 ; C23C16/18
摘要:
本发明公开了一种离合组件及其MOCVD设备,包括,第一电磁铁、第二电磁铁、第一离合盘、第二离合盘,第一离合盘、第二离合盘通过相互压紧、摩擦的方式咬紧;第一离合盘安装在调速轴一端,调速轴另一端穿过调速顶盖后与调速齿轮装配固定;第二离合盘与离合筒一端装配固定,离合筒内侧与驱动轴底部可轴向上移动装配;离合筒顶部穿过离合隔板后与离合驱动板可周向转动装配,离合驱动板两端分别通过离合驱动杆与驱动连接板一端装配固定,驱动连接板设置在驱动机构上;驱动连接板还与第二伸缩轴一端装配固定,第二伸缩轴另一端穿过下限位板后与第二电磁铁装配。本发明通过托盘组件实现了托盘在转动的同时还在水平方向上摆动,从而保证托盘受热均匀。
公开/授权文献
- CN109112505A 一种离合组件及其MOCVD设备 公开/授权日:2019-01-01
IPC分类: