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公开(公告)号：CN103674396A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310653653.5
申请日：2013-12-06
Applicant: 苏州科技学院 , 昆山双桥传感器测控技术有限公司
Abstract: 本发明公开一种微型动态渗透水压力传感器，包括壳体、杯形基底、不锈钢后盖、透水石层和信号调制放大模块；杯形基底内壁具有台阶面，一透水石层安装于所述杯形基底的台阶面上；杯形基底嵌入所述前置腔内并安装于所述壳体的台阶圆环面上；不锈钢后盖安装于所述壳体位于后置腔的一端，氮化硅薄膜覆盖于所述杯形基底的内表面；杯形基底与透水石层相背的表面具有压力敏感组件，第一引线跨接于所述压力敏感组件和信号调制放大模块一端之间，一信号缆嵌入不锈钢后盖的通孔内并通过第二引线连接到所述信号调制放大模块另一端。本发明提高压力传感器的动态频响和测量精度，既大大提升了量程，又提高了感应的精度和灵敏性，且提高了压力传感器的信号线性度。
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公开(公告)号：CN103674396B
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201310653653.5
申请日：2013-12-06
Applicant: 苏州科技学院 , 昆山双桥传感器测控技术有限公司
Abstract: 本发明公开一种微型动态渗透水压力传感器，包括壳体、杯形基底、不锈钢后盖、透水石层和信号调制放大模块；杯形基底内壁具有台阶面，一透水石层安装于所述杯形基底的台阶面上；杯形基底嵌入所述前置腔内并安装于所述壳体的台阶圆环面上；不锈钢后盖安装于所述壳体位于后置腔的一端，氮化硅薄膜覆盖于所述杯形基底的内表面；杯形基底与透水石层相背的表面具有压力敏感组件，第一引线跨接于所述压力敏感组件和信号调制放大模块一端之间，一信号缆嵌入不锈钢后盖的通孔内并通过第二引线连接到所述信号调制放大模块另一端。本发明提高压力传感器的动态频响和测量精度，既大大提升了量程，又提高了感应的精度和灵敏性，且提高了压力传感器的信号线性度。
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公开(公告)号：CN103606565A
公开(公告)日：2014-02-26
申请号：CN201310613099.8
申请日：2013-11-27
Applicant: 苏州科技学院 , 昆山双桥传感器测控技术有限公司
Abstract: 本发明公开一种压力传感器敏感元件的制造工艺，其第一、第二掺硼P型微晶硅条为由若干根沿径向排列的微晶硅电阻丝首尾连接组成；在杯形衬底附近通入高纯氧气与氩气的混合气体，混合气体氧气氩气体积比为1：13，总气压大小为Pa，在250℃温度下，用加速能量为2000eV的氩离子束轰击99.95%的二氧化硅靶材，沉积厚度1～5μm作为绝缘隔离层的二氧化硅隔离层；以电阻率为Ω﹒m掺硼硅为靶材，在高纯氩气的气氛中，用离子束溅射方法，生长温度为300℃，通过覆盖第一掩模板在二氧化硅隔离层上制备出厚度为1～5μm掺硼P型微晶硅条。本发明敏感层薄膜附着力强，既大大提升了量程，又提高了感应的精度和灵敏性，且提高了压力传感器的信号线性度。
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公开(公告)号：CN103175639A
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN201310046809.3
申请日：2013-02-06
Applicant: 苏州科技学院 , 昆山双桥传感器测控技术有限公司
IPC: G01L1/18
Abstract: 本发明公开了一种压阻式高频动态土应力传感器及制备方法，传感器包括传感器壳体（7）、应力敏感组件、信号调理放大电路（11）和引出电缆（13），所述应力敏感组件包括基底（1）—绝缘隔离层（2）—应变电阻（3）—绝缘保护层（5）构成的结构；且所述应力敏感组件通过高硼硅玻璃（6）封接于传感器壳体（7）前端的固支台阶（18）。本发明的传感器敏感组件集成有应变电阻（3）和调整电阻（19），有效减小体积，简化了加工工艺，降低制作成本，容易实现大批量生产，提高了产品性价比和市场竞争力。
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公开(公告)号：CN103606565B
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201310613099.8
申请日：2013-11-27
Applicant: 苏州科技学院 , 昆山双桥传感器测控技术有限公司
Abstract: 本发明公开一种压力传感器敏感元件的制造工艺，其第一、第二掺硼P型微晶硅条为由若干根沿径向排列的微晶硅电阻丝首尾连接组成；在杯形衬底附近通入高纯氧气与氩气的混合气体，混合气体氧气氩气体积比为1：13，总气压大小为Pa，在250℃温度下，用加速能量为2000eV的氩离子束轰击99.95%的二氧化硅靶材，沉积厚度1～5μm作为绝缘隔离层的二氧化硅隔离层；以电阻率为Ω﹒m掺硼硅为靶材，在高纯氩气的气氛中，用离子束溅射方法，生长温度为300℃，通过覆盖第一掩模板在二氧化硅隔离层上制备出厚度为1～5μm掺硼P型微晶硅条。本发明敏感层薄膜附着力强，既大大提升了量程，又提高了感应的精度和灵敏性，且提高了压力传感器的信号线性度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103175639B
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201310046809.3
申请日：2013-02-06
Applicant: 苏州科技学院 , 昆山双桥传感器测控技术有限公司
IPC: G01L1/18
Abstract: 本发明公开了一种压阻式高频动态土应力传感器及其制备方法，传感器包括传感器壳体（7）、应力敏感组件、信号调理放大电路（11）和引出电缆（13），所述应力敏感组件包括基底（1）—绝缘隔离层（2）—应变电阻（3）—绝缘保护层（5）构成的结构；且所述应力敏感组件通过高硼硅玻璃（6）封接于传感器壳体（7）前端的固支台阶（18）。本发明的传感器敏感组件集成有应变电阻（3）和调整电阻（19），有效减小体积，简化了加工工艺，降低制作成本，容易实现大批量生产，提高了产品性价比和市场竞争力。
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公开(公告)号：CN203595575U
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：CN201320798587.6
申请日：2013-12-06
Applicant: 苏州科技学院 , 昆山双桥传感器测控技术有限公司
Abstract: 本实用新型公开一种微型动态渗透水压力传感器，包括壳体、杯形基底、不锈钢后盖、透水石层和信号调制放大模块；杯形基底内壁具有台阶面，一透水石层安装于所述杯形基底的台阶面上；杯形基底嵌入所述前置腔内并安装于所述壳体的台阶圆环面上；不锈钢后盖安装于所述壳体位于后置腔的一端，氮化硅薄膜覆盖于所述杯形基底的内表面；杯形基底与透水石层相背的表面具有压力敏感组件，第一引线跨接于所述压力敏感组件和信号调制放大模块一端之间，一信号缆嵌入不锈钢后盖的通孔内并通过第二引线连接到所述信号调制放大模块另一端。本实用新型提高压力传感器的动态频响和测量精度，既大大提升了量程，又提高了感应的精度和灵敏性，且提高了压力传感器的信号线性度。
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公开(公告)号：CN203216646U
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：CN201320069752.4
申请日：2013-02-06
Applicant: 苏州科技学院 , 昆山双桥传感器测控技术有限公司
IPC: G01L1/18
Abstract: 本实用新型公开了一种压阻式高频动态土应力传感器，传感器包括传感器壳体（7）、应力敏感组件、信号调理放大电路（11）和引出电缆（13），所述应力敏感组件包括基底（1）—绝缘隔离层（2）—应变电阻（3）—绝缘保护层（5）构成的结构；且所述应力敏感组件通过高硼硅玻璃（6）封接于传感器壳体（7）前端的固支台阶（18）。本实用新型的传感器敏感组件集成有应变电阻（3）和调整电阻（19），有效减小体积，简化了加工工艺，降低制作成本，容易实现大批量生产，提高了产品性价比和市场竞争力。
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公开(公告)号：CN203595568U
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：CN201320761370.8
申请日：2013-11-27
Applicant: 苏州科技学院 , 昆山双桥传感器测控技术有限公司
Abstract: 本实用新型公开一种用于压阻式压力传感器的敏感元件，包括杯形衬底、金属电极层、二氧化硅隔离层，此二氧化硅隔离层与圆形基底层相背的表面设有至少四条掺硼P型微晶硅条；第一、第二掺硼P型微晶硅条为由若干根沿径向排列的微晶硅电阻丝首尾连接组成，金属电极层包括输入电极区、输出电极区和中间电极区，输入电极区一端连接到第一掺硼P型微晶硅条一端，输出电极区一端连接到第二掺硼P型微晶硅条一端，中间电极区两端分别连接到相邻所述第一、第二掺硼P型微晶硅条各自的另一端。本实用新型既大大提升了量程，又提高了感应的精度和灵敏性；且电阻率一致性好，能够提高压力传感器的信号线性度，高的响应频率且能提高产品的成品率。
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公开(公告)号：CN105065724B
公开(公告)日：2018-04-06
申请号：CN201510423477.5
申请日：2015-07-20
Applicant: 苏州科技学院
Abstract: 本发明公开了一种控温混水装置，其产生温度可调节、控温精确的恒温水用于巧克力调温机中，确保在巧克力浆料降温过程中能达到精确的结晶温度。本发明将步进电机驱动的球阀、磁力搅拌机构、温度测量及单片机计算与控制技术相结合，精确调节热水、冷水的混合量，从而得到温度可调节的混合水。本发明也可以用于其它需要恒温水的场合。本发明包括：热水进水控制球阀、热水进水测温热电偶、冷水进水测温热电偶、冷水进水控制球阀、混水腔体、混水搅拌子、混水搅拌磁力块、混水出水测温热电偶、混水出水控制球阀。本发明具有显著的技术进步应该会带来可观的经济效益。
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