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公开(公告)号：CN117773750B
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN202311730910.0
申请日：2023-12-15
申请人： 苏州晶淼半导体设备有限公司
摘要： 本发明涉及机械手控制领域，尤其涉及一种用于清洗的多机械臂协同控制系统，本发明通过设置清洗装置、巡检机构以及中控处理器，中控处理器控制第一机械臂上的抛光盘以预设的抛光参数沿预设运行轨迹进行首次抛光，并在首次抛光过程中拍摄第一图像，基于第一图像的纹路特征调整第二机械臂上的抛光盘的抛光参数，并沿预设运行轨迹进行二次抛光，并在二次抛光过程中拍摄第二图像，基于第二图像的色彩特征调整第三机械臂上的抛光盘的抛光参数，并沿预设运行轨迹进行三次抛光，并在三次抛光过程中拍摄第三图像，基于第一图像、第二图像以及第三图像的泡沫面积实时调整喷水单元的喷射流量，提高了多机械臂协同控制系统的清洗效果。
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公开(公告)号：CN117773750A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311730910.0
申请日：2023-12-15
申请人： 苏州晶淼半导体设备有限公司
摘要： 本发明涉及机械手控制领域，尤其涉及一种用于清洗的多机械臂协同控制系统，本发明通过设置清洗装置、巡检机构以及中控处理器，中控处理器控制第一机械臂上的抛光盘以预设的抛光参数沿预设运行轨迹进行首次抛光，并在首次抛光过程中拍摄第一图像，基于第一图像的纹路特征调整第二机械臂上的抛光盘的抛光参数，并沿预设运行轨迹进行二次抛光，并在二次抛光过程中拍摄第二图像，基于第二图像的色彩特征调整第三机械臂上的抛光盘的抛光参数，并沿预设运行轨迹进行三次抛光，并在三次抛光过程中拍摄第三图像，基于第一图像、第二图像以及第三图像的泡沫面积实时调整喷水单元的喷射流量，提高了多机械臂协同控制系统的清洗效果。
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公开(公告)号：CN210966258U
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN201922098240.0
申请日：2019-11-29
申请人： 苏州晶淼半导体设备有限公司
摘要： 本实用新型涉及一种片盒清洗槽，包括清洗槽本体、支架、电动机、转轴、丝杆、滚珠螺母副、滑块、喷头、过滤网和泵体，集水槽设置在清洗槽本体底端，清洗腔与集水腔接触面设置有漏水孔，过滤网设置在集水槽内部靠上部位置，泵体设置在集水槽内靠下部位置，转轴转动连接在支架内部，转轴一端贯穿支架侧壁，并与电动机的输出端固定连接，丝杆与转轴同轴固定转动连接在支架内部，滑块滑动连接在支架内部，滚珠螺母副设置在滑块内部，滑块通过滚珠螺母副套设于丝杆上，且喷头固定在滑块底部，喷头与泵体的水管连接，本实用新型利用机械结构，带动喷头移动，喷头移动的同时，可对片盒进行全面的清洗，并对多余的水进行循环利用。
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公开(公告)号：CN210972675U
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN201922097833.5
申请日：2019-11-29
申请人： 苏州晶淼半导体设备有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种片盒清洗机自动传输装置，所述片盒清洗机自动传输装置包括传输机构、下料机构、装载机构和接料机构，所述传输机构上表面一端固定焊接有下料机构，所述下料机构内腔活动连接有装载机构，所述传输机构另一端固定焊接有接料机构。本实用新型载机构放置在下料架内腔，并将装载机构进行一次叠加，且装载机构两端通过导料槽和下滑槽相互配合，从而对装载机构进行固定，使装载机构在下滑时更加的稳定，传输带带动拨桨进行转动时，拨桨从出料口内腔通过，从而可通过拨桨将装载机构从下料机构内腔拨出，通过拨桨对装载机构连续式拨动，从而可对片盒进行自动传输，使用更加的便捷。
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公开(公告)号：CN210966161U
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN201922097829.9
申请日：2019-11-29
申请人： 苏州晶淼半导体设备有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种片盒清洗机用纯水槽，所述片盒清洗机用纯水槽包括水槽、清洗机构、升降机构、烘干机构和气体回收机构，所述水槽内腔底部固定安装有清洗机构，所述水槽内腔一端的顶部固定安装有升降机构。本实用新型通过超声波发生器把市电转换成与超声波换能片相匹配的高频交流电信号，驱动超声波换能片进行工作，通过超声波换能片做工于清洗液，使清洗液在强烈的超声作用下发生剧烈振动，通过清洗液产生的振动与片盒发生撞击，使污垢在振动撞击运动过程中快速松动和脱落，可提升对片盒的清洗效果，同时通过电机带动波轮进行转动，波轮在转动时可对清洗水进行搅动，通过水流对片盒进行撞击，从而将进一步的提升对片盒的清洗效果。
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公开(公告)号：CN221768294U
公开(公告)日：2024-09-24
申请号：CN202323524891.4
申请日：2023-12-22
申请人： 苏州晶淼半导体设备有限公司
摘要： 本实用新型涉及应用于腐蚀清洗机的加热器技术领域，公开了一种应用于腐蚀清洗机的加热器，包括承载结构、加热结构和导流结构，所述承载结构包括承载板，所述承载板的一端固定连接有第一侧板，所述第一侧板的一端固定连接有第二侧板，所述第二侧板的一端固定连接有第三侧板，所述第三侧板的一端固定连接有第四侧板，所述第一侧板、所述第二侧板、所述第三侧板和所述第四侧板首尾相连并与所述承载板围合形成具有开口的腔体，本实用新型通过设置隔离管避免将加热器浸入清洗液中时，因电阻加热丝与清洗液的接触而导致的安全事故，此外导液管绕设在电阻加热丝的外围，从而使得液体流经导液管时即得到加热，加热效率高，并且减少了金属污染等问题。
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公开(公告)号：CN221472924U
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN202323471383.4
申请日：2023-12-19
申请人： 苏州晶淼半导体设备有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种喷头支架及腐蚀清洗机，涉及清洗机技术领域，包括清洗桶，清洗桶的顶部设有电机，电机的底部设有搅拌轴，搅拌轴的两侧均对称设有搅拌杆，搅拌轴表面的两侧均对称设有连接板，连接板的外表面设有第一刮板，搅拌轴的底端对称设有连接杆，连接杆的外侧设有第二刮板，清洗桶的内壁均等距设有加热棒，放盒的内腔纵向贯穿设有进水管，放盒内腔远离进水管的一侧设有用于驱动进水管纵向滑动的驱动机构，在本实用新型中，通过电机带动搅拌杆转动，可以对清洗桶内的水搅拌，通过驱动机构与刮板配合将清洗桶内的附着物清理，避免在清洗桶的内壁上还存留影响后续的分离效果。
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公开(公告)号：CN219292157U
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202223169856.0
申请日：2022-11-29
申请人： 苏州晶淼半导体设备有限公司
摘要： 本实用新型属于刷洗机技术领域，尤其为晶圆双面刷洗机，包括外壳、支架，外壳的内侧固定连接有伸缩气缸，伸缩气缸的外部固定连接有推板，推板的外部固定连接有电机，电机的外部固定连接有主轮，主轮的外部啮合有链条，链条的外部啮合有副轮，副轮的外部固定连接有转轴，转轴的一端转动连接有推板，转轴的另一端固定连接有毛刷，推板的外部设置有波纹管，波纹管的外部设置有水管，水管的外部设置有若干倾斜分布的喷头，支架的内侧滑动连接有夹板，夹板的外部固定连接有弹簧。该晶圆双面刷洗机，达到了可对圆晶两面进行刷洗的效果，从而提升对圆晶的刷洗效率，并且通过设置多组夹板，使得一次可对多个圆晶进行刷洗，进一步的提升刷洗效率。
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公开(公告)号：CN210966124U
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN201922098259.5
申请日：2019-11-29
申请人： 苏州晶淼半导体设备有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种腐蚀清洗机自动补液装置，包括移动架和补液罐，补液罐固定安装在移动架端面内部，移动架下端面四角处均设有行走轮，移动架的两侧上端均固定安装有手扶杆，补液罐上端中部固定安装有电机，电机的输出端固定连接有搅拌轴，搅拌轴竖直放置，搅拌轴位于补液罐内部，有益效果是：补液罐固定安装在移动架上，移动架的下端面四角设有行走轮，可通过手握手扶杆并推动移动架即可实现补液罐的转移，装置移动方便，方便了腐蚀清洗机的补液，通过电机带动搅拌轴转动，搅拌叶可对补液罐内部清洗液进行搅拌，提高了配液效率，通过泵体抽取补液罐内部清洗液，并利用输液软管进行输液，腐蚀清洗机补液方便，节省体力。
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公开(公告)号：CN210966123U
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN201922098256.1
申请日：2019-11-29
申请人： 苏州晶淼半导体设备有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种硅芯清洗用主副槽，属于太阳能光伏清洗设备和半导体清洗设备技术领域，包括机壳，所述机壳内部中间位置安装有隔板，且隔板表面固定连接有增压泵，所述机壳内部从上至下分别设有主槽和副槽，所述机壳内壁对称铆接有限位滑轨，所述限位滑轨表面滑动连接有龙门架，所述龙门架上表面焊接定位柱，所述主槽可拆卸连接在龙门架内部，所述龙门架内部焊接有横杆，所述横杆与机壳之间固定连接有二号弹簧和伸缩架，所述二号弹簧具体为两组，且对称设置在伸缩架两侧，所述二号弹簧外部套设有套筒，所述套筒焊接在机壳内壁。本实用新型通过把主槽和副槽纵向设置，节省空间，主槽通过龙门架配合限位滑轨使用，方便推拉主槽。
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