一种具有双极型工作特性的薄膜晶体管

    公开(公告)号:CN103811559B

    公开(公告)日:2018-07-06

    申请号:CN201410058523.1

    申请日:2014-02-21

    Applicant: 苏州大学

    Abstract: 本发明涉及一种具有双极型工作特性的薄膜晶体管,其包括:绝缘衬底、半导体有源区、金属源区、金属漏区、栅绝缘层、栅电极和源漏区附近的调制掺杂区;栅极电压可在半导体有源区表面诱导出导电沟道,此导电沟道将连接金属源区和金属漏区。金属源区与沟道区之间的区域以及金属漏区与沟道区之间的区域均包含可调节空穴和电子势垒高度的调制掺杂区,该调制掺杂区在沟道区的不同深度含有导电类型互补的杂质掺杂。本发明利用源漏区附近的调制掺杂区对电子和空穴势垒高度的调制作用,可以实现在正负栅极电压下都能开启的双极型薄膜晶体管。

    一种具有双极型工作特性的薄膜晶体管

    公开(公告)号:CN103811559A

    公开(公告)日:2014-05-21

    申请号:CN201410058523.1

    申请日:2014-02-21

    Applicant: 苏州大学

    CPC classification number: H01L29/78675 H01L29/0607

    Abstract: 本发明涉及一种具有双极型工作特性的薄膜晶体管,其包括:绝缘衬底、半导体有源区、金属源区、金属漏区、栅绝缘层、栅电极和源漏区附近的调制掺杂区;栅极电压可在半导体有源区表面诱导出导电沟道,此导电沟道将连接金属源区和金属漏区。金属源区与沟道区之间的区域以及金属漏区与沟道区之间的区域均包含可调节空穴和电子势垒高度的调制掺杂区,该调制掺杂区在沟道区的不同深度含有导电类型互补的杂质掺杂。本发明利用源漏区附近的调制掺杂区对电子和空穴势垒高度的调制作用,可以实现在正负栅极电压下都能开启的双极型薄膜晶体管。

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