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公开(公告)号：CN118818665A
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202411194305.0
申请日：2024-08-28
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明涉及一种电控相变型非易失性2×3光波导开关及电控方法。它包括2×3光波导结构，脉冲发生系统；在SOI硅片上制备条形硅波导结构，包括硅‑二氧化硅衬底、三根硅波导、两根由硅材料和相变薄膜组成的复合波导及金属导电电极。利用现场脉冲发生系统的可编程门阵列产生窄带电压脉冲控制电极，实现相变薄膜的电致相变，进而控制光波导结构中光信号的传输通道。本发明采用条形波导结构，结构简单，减少加工难度；提出了利用FPGA同步控制导电电极两端的短脉冲电压输出，诱导相变薄膜的晶化和非晶化两种相态，调控光信号从两个端口输入，三个端口任意输出，拥有更高的数据传输能力，在全光网络中有更好的应用前景。
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