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公开(公告)号：CN108516519A
公开(公告)日：2018-09-11
申请号：CN201810627876.7
申请日：2018-06-19
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明涉及一种磁控介质阻挡放电阳极键合系统及方法，该系统包括工作台，工作台包括平行设置的第一电极和第二电极；磁控模块，磁控模块产生周期变化的磁场；电源模块，电源模块与第一电极和第二电极电性连接；加热装置，加热装置用于提供键合所需温度；驱动装置，驱动装置与第一电极连接，驱动装置驱动第一电极在竖直方向的移动区域内上下移动。该方法先设置磁控介质阻挡放电阳极键合系统的相关参数，然后通过驱动装置使第一电极位于第一位置，再通过磁控模块对玻璃器件和硅器件进行放电预处理，最后使第一电极位于第二位置，进行阳极键合。其将磁控强化、预处理放电和阳极键合三者一体化控制，最终形成多能场耦合键合，实现低温高效阳极键合。
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公开(公告)号：CN208292656U
公开(公告)日：2018-12-28
申请号：CN201820940339.3
申请日：2018-06-19
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本实用新型涉及一种磁控介质阻挡放电阳极键合系统，该系统包括工作台，工作台包括平行设置的第一电极和第二电极；磁控模块，磁控模块产生周期变化的磁场；电源模块，电源模块与第一电极和第二电极电性连接；加热装置，加热装置用于提供键合所需温度；驱动装置，驱动装置与第一电极连接，驱动装置驱动第一电极在竖直方向的移动区域内上下移动。该磁控介质阻挡放电阳极键合系统将磁控强化、预处理放电和阳极键合三者一体化控制，最终形成多能场耦合键合，实现低温高效阳极键合。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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