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公开(公告)号：CN118621272B
公开(公告)日：2024-11-19
申请号：CN202411102887.5
申请日：2024-08-13
申请人： 苏州佑伦真空设备科技有限公司
IPC分类号： C23C14/24
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公开(公告)号：CN118880246A
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN202410944732.X
申请日：2024-07-15
申请人： 苏州佑伦真空设备科技有限公司
IPC分类号： C23C14/24
摘要： 本发明公开了一种双腔室蒸镀镀锅同步传动结构，包括：齿轮防着板、一对镀锅组件、单轴双齿轮驱动组件。镀锅组件包括镀锅，镀锅的外侧卡合装配有多组均匀分布的盖板，镀锅的外侧铰接有多组均匀分布的压条。单轴双齿轮驱动组件包括支架固定板，支架固定板固定装配有装配轴承座，装配轴承座内转动连接有下回转杆，下回转杆贴近齿轮防着板的一端固定连接有传动齿轮，传动齿轮的两侧均啮合有驱动齿轮。本发明公开的一种双腔室蒸镀镀锅同步传动结构，通过采用双齿轮单轴驱动，保证了镀锅的旋转同步度，避免了一种双腔室蒸镀镀锅同步传动结构出现双样品沉积速度不均匀的情况，提高了一种双腔室蒸镀镀锅同步传动结构对基片进行镀膜的均匀性。
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公开(公告)号：CN118374774B
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202410813278.4
申请日：2024-06-24
申请人： 苏州佑伦真空设备科技有限公司
摘要： 本发明涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种材料均匀散发的真空镀膜机，包括底座，以及安装在底座右侧的电控柜；所述镀膜腔体的前侧面设置有开合门组件，开合门组件的内侧安装有离子源；所述镀膜腔体的顶端内部设置有镀锅；所述镀膜腔体的内壁安装有防着板，镀膜腔体的左右两侧面内壁的防着板上安装有加热灯。该材料均匀散发的真空镀膜机，通过两种加热蒸发模式，不仅可提高对材料的加热效率，还能提高一次加热的材料的量，继而提高了蒸发出来的材料的量，因此缩短了镀膜所需的时间，提高了镀膜的效率，提高了蒸发后的材料向上散发的范围和面积，继而再配合修正板的使用可将蒸发后的材料均匀的散发到镀锅上的基板表面，提高了镀膜的均匀性。
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公开(公告)号：CN112859667B
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202011623253.6
申请日：2020-12-31
申请人： 苏州佑伦真空设备科技有限公司
发明人： 薛蒙晓
IPC分类号： G05B19/042
摘要： 本申请提供一种真空蒸镀机的信号采集控制电路，包括：PC、CPU、数字信号输入端口、数字信号输出端口、模拟信号输入端口、模拟信号输出端口、控制单元数字输入模块、模拟信号输入模块和数字信号输出模块，所述PC与CPU双向连接，CPU与数字信号输入端口、数字信号输出端口、模拟信号输入端口和模拟信号输出端口串联连接，模拟信号输出端口与模拟信号输出模块连接，数字信号输出模块和模拟信号输出模块与CPU的输入端连接，当PC发出某个动作指令，CPU对数字信号输入端口和模拟信号输入端口输入的信号以及数字信号输出模块和模拟信号输出模块输入的反馈信号，两方面的信号进行综合分析，然后CPU执行所述动作指令，并将执行状况在PC进行状态显示。
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公开(公告)号：CN114592178A
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN202210156833.1
申请日：2022-02-21
申请人： 苏州佑伦真空设备科技有限公司
发明人： 薛蒙晓
摘要： 本申请提供一种无死角的视窗，包括设置在真空蒸镀机的腔体门上的观察窗和设置在主腔体内并与主腔体后面板固定的反射件，所述观察窗的结构从外向内包括：外层玻璃、安装架和延伸件，外层玻璃和安装架固定在腔体门上，延伸件设置在主腔体内并且与安装架连接，延伸件与腔体门内壁的垂直线之间具有倾斜角a，安装架具有第一通孔，第一通孔与外层玻璃的位置相对应，延伸件有两个，两个延伸件上下设置在第一通孔的上下两边，延伸件中的一个或者两个具有反射功能，反射件相对于腔体门的一面具有反射功能；主腔室内的光线通过延伸件和/或反射件的反射后穿过第一通孔到达外层玻璃而进入人眼，延伸件阻挡蒸发的蒸镀材料防止蒸镀材料穿过第一通孔。
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公开(公告)号：CN113265622A
公开(公告)日：2021-08-17
申请号：CN202110736177.8
申请日：2021-06-30
申请人： 苏州佑伦真空设备科技有限公司
发明人： 薛蒙晓
摘要： 本申请提供一种真空蒸镀机的修正板系统，包括分别设置在真空蒸镀机的主腔室的四个边角的四个修正板结构，所述修正板结构包括：竖杆、与竖杆的下部连接并水平设置的横杆、位于横杆的前部并水平设置的柳叶形的修正叶，所述修正叶与横杆固定，横杆与竖杆固定，所述横杆位于真空蒸镀机的坩埚与镀锅之间，起到修正膜层的均匀性和厚度的作用，所述竖杆的顶端通过驱动轴与提供动能的部件连接，使得竖杆能够进行旋转和/或上下运动，从而竖杆带动横杆和修正叶以竖杆为中心水平旋转和/或上下运动。
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公开(公告)号：CN112593192A
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN202011623265.9
申请日：2020-12-31
申请人： 苏州佑伦真空设备科技有限公司
发明人： 薛蒙晓
IPC分类号： C23C14/30
摘要： 为了解决急需一种既可以密封又可以长期使用不泄露的技术来改变现状的问题，本发明提出一种磁流体一体式坩埚旋转机构，包括：蒸镀机内腔底板、坩埚、磁流体、电机、联轴器、齿轮轴、第一齿轮、第二齿轮，在坩埚内部设有敞口的多个反应腔，每个反应腔装有的原料不同，通过电机带动联轴器带动磁流体转动，磁流体带动第一齿轮转动，第一齿轮带动齿轮轴转动，齿轮轴带动第二齿轮转动从而带动坩埚转动，坩埚的反应腔的敞口上设有遮板，遮板上设有第一通孔，当坩埚转动到指定位置，坩埚的其中一个反应腔与第一通孔连通，一体化设计既可以解决繁琐的机械组合，同时又能够满足长时间旋转不漏真空的技术。
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公开(公告)号：CN113981382B
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202111514735.2
申请日：2021-12-13
申请人： 苏州佑伦真空设备科技有限公司
发明人： 薛蒙晓
IPC分类号： C23C14/30
摘要： 本申请提供一种真空蒸镀机的坩埚系统，所述坩埚系统包括电子枪结构和坩埚结构，电子枪结构设置在坩埚结构的前方，电子枪结构发出电子束轰击加热坩埚结构的坩埚内的膜料；所述电子枪结构包括支座、灯丝、高压头、一体式线圈和磁极，所述支座具有一个从上向下的凹陷部，灯丝和高压头设置在凹陷部内，高压头设置在灯丝的下方，高压头对灯丝进行高压放电，一体式线圈设置在灯丝的前方，磁极设置在支座的两侧和后方，一体式线圈由一个水平横向设置的X线圈和两个水平纵向设置的Y线圈组成，X线圈设置在前方，两个Y线圈分别与X线圈的两端连接并且位于X线圈的后方，所述一体式线圈和磁极用于使得打入坩埚内的光斑为点形或圆形。
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公开(公告)号：CN112729095B
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202011618398.7
申请日：2020-12-31
申请人： 苏州佑伦真空设备科技有限公司
发明人： 薛蒙晓
摘要： 本申请提供一种真空蒸镀机腔室顶部的探头结构，从上到下包括：气缸、连轴器、第二中空套筒、电极固定件、探头晶振片固定件、和盖帽，所述连轴器与气缸和第一杆体固定，连轴器的外面套设有第一中空套筒，第一中空套筒的上端与气缸的壳体固定，下端与第二中空套筒固定，电极固定件与第二中空套筒的下端固定，探头晶振片固定件与第一杆体的下部固定，6个探头和晶振片均匀分布并固定在探头晶振片固定件内，盖帽套设在探头晶振片固定件的外面、且与电极固定件连接固定，盖帽的底部具有一个第一通孔，气缸每次旋转60°，带动连轴器、第一杆体和探头晶振片固定件同步旋转60°，使得更换一个探头和晶振片与盖帽的第一通孔位置对应。
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公开(公告)号：CN118621272A
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202411102887.5
申请日：2024-08-13
申请人： 苏州佑伦真空设备科技有限公司
IPC分类号： C23C14/24
摘要： 本发明涉及坩埚旋转和移动技术领域，具体为一种防偏差的坩埚旋转和移动机构，包括下沉腔腔体，以及安装在下沉腔腔体前侧面的开合门，所述下沉腔腔体的后侧面通过连接法兰组件与支撑架相连接，下沉腔腔体的底面内部安装有滑轨机构，滑轨机构的上方滑动连接有移动滑板，所述移动滑板前侧上方安装有蒸发源，移动滑板上设置有用于对坩埚本体冷却的水管组件，水管组件的外端与开合门相连接，所述连接法兰组件内安装有密封件。该防偏差的坩埚旋转和移动机构，不仅使得坩埚本体移动出来后也可进行旋转，还不会导致坩埚本体发生偏差，从而便于坩埚旋转和移动机构很好的对坩埚进行旋转和移动操作，便于后期对坩埚本体进行补料，操作省时省力。
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