公开(公告)号：CN1263113C

公开(公告)日：2006-07-05

申请号：CN01103488.2

申请日：2001-02-07

Applicant: 花王株式会社

Inventor： 村中诚志 ,  菅野至 ,  代田真美 ,  近藤纯二

IPC: H01L21/768 ,  H01L21/28 ,  G03F7/32

Abstract: 用单一的药液除去全部Al布线工序等中的抗蚀剂残渣。作为抗蚀剂除去或抗蚀剂残渣除去的处理液，使用含有有机酸或其盐和水且pH值小于8的药液。

公开(公告)号：CN1330402A

公开(公告)日：2002-01-09

申请号：CN01103488.2

申请日：2001-02-07

Applicant: 三菱电机株式会社 ,  花王株式会社

Inventor： 村中诚志 ,  菅野至 ,  代田真美 ,  近藤纯二

IPC: H01L21/768 ,  H01L21/28 ,  G03F7/32

Abstract: 用单一的药液除去全部A1布线工序等中的抗蚀剂残渣。作为抗蚀剂除去或抗蚀剂残渣除去的处理液,使用含有有机酸或其盐和水且pH值小于8的药液。