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公开(公告)号：CN112447556A
公开(公告)日：2021-03-05
申请号：CN202010877547.5
申请日：2020-08-27
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Inventor： 大森圭悟
Abstract: 本发明提供一种液雾回收装置及基板处理装置，在抑制排气效率的下降的同时，可切实地回收液雾。实施方式的基板处理装置包括：处理室，向基板供给处理液，产生处理液的液雾；排气配管，形成用于从处理室排出气体的排气路；支撑轴，以延伸方向沿着排气路的延伸方向的方式设置于排气路；以及旋转鳍片，设置于支撑轴，通过在排气路中流动的气体以支撑轴为旋转中心进行自转，排气配管具有形成排气路的环状的壁部，壁部形成为冷却液在其内部空间中流动，旋转鳍片被供冷却液流动的壁部的内部空间包围。
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