公开(公告)号：CN102956531B

公开(公告)日：2015-10-14

申请号：CN201210286785.4

申请日：2012-08-13

Applicant: 芝浦机械电子株式会社

Inventor： 古矢正明 ,  田内丰泰

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种被处理物的处理系统及被处理物的处理方法，该被处理物的处理系统具备：收纳部，收纳被处理物；处理部，对所述被处理物实施处理；承载部，在层叠方向上隔着第1间隔具有多个承载所述被处理物的保持部；第1搬送部，在所述收纳部与所述承载部之间进行所述被处理物的搬送，在所述层叠方向上的第1位置进入所述承载部；及第2搬送部，在所述处理部与所述承载部之间进行所述被处理物的搬送，在所述层叠方向上的与所述第1位置不同的第2位置进入所述承载部。而且，所述第1位置夹着所述第2位置在所述层叠方向上设置有2处，所述第1搬送部与所述第2搬送部能够同一时候进入所述承载部。

公开(公告)号：CN102956531A

公开(公告)日：2013-03-06

申请号：CN201210286785.4

申请日：2012-08-13

Applicant: 芝浦机械电子株式会社

Inventor： 古矢正明 ,  田内丰泰

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种处理系统及处理方法，该处理系统具备：收纳部，收纳被处理物；处理部，对所述被处理物实施处理；承载部，在层叠方向上隔着第1间隔具有多个承载所述被处理物的保持部；第1搬送部，在所述收纳部与所述承载部之间进行所述被处理物的搬送，在所述层叠方向上的第1位置进入所述承载部；及第2搬送部，在所述处理部与所述承载部之间进行所述被处理物的搬送，在所述层叠方向上的与所述第1位置不同的第2位置进入所述承载部。而且，所述第1位置夹着所述第2位置在所述层叠方向上设置有2处，所述第1搬送部与所述第2搬送部可以同一时侯进入所述承载部。