公开(公告)号：CN1456878A

公开(公告)日：2003-11-19

申请号：CN02126481.3

申请日：2002-07-23

Applicant: 联华电子股份有限公司

Inventor： 李介文 ,  黄吕祥

IPC: G01N27/00

Abstract: 一种电子迁移可靠度的测量方法，此测量方法包括下列步骤：a.于一第一时间供给被测量元件一脉冲波，以使被测量元件升至高温。b.供给被测量元件一测试电流，以测量此被测量元件的电性值，求取电子迁移可靠度的测量数据。c.于一第二时间内，停止将脉冲波供给至被测量元件，以使被测量元件温度降至接近常温。d.以步骤(a)到步骤(c)为一个循环，重复上述步骤(a)到步骤(c)。

公开(公告)号：CN1241011C

公开(公告)日：2006-02-08

申请号：CN02126481.3

申请日：2002-07-23

Applicant: 联华电子股份有限公司

Inventor： 李介文 ,  黄吕祥

IPC: G01N27/00

Abstract: 一种电子迁移可靠度的测量方法，此测量方法包括下列步骤：a.于一第一时间供给被测量元件一脉冲波，以使被测量元件升至高温。b.供给被测量元件一测试电流，以测量此被测量元件的电性值，求取电子迁移可靠度的测量数据。c.于一第二时间内，停止将脉冲波供给至被测量元件，以使被测量元件温度降至接近常温。d.以步骤(a)到步骤(c)为一个循环，重复上述步骤(a)到步骤(c)。