公开(公告)号：CN101977831B

公开(公告)日：2013-04-10

申请号：CN200980109753.3

申请日：2009-03-17

申请人： 翁令司工业股份有限公司 ,  哈模技术有限公司

发明人： 小泽秀夫 ,  角田耕一 ,  佐藤光 ,  岩坂斉 ,  德永英幸 ,  河西裕二

IPC分类号： B65G49/06 ,  B65G49/07 ,  B65G51/03 ,  H01L21/677

CPC分类号： H01L21/6838 ,  B65G49/065 ,  B65G2249/045 ,  H01L21/67784

摘要： 本发明提供一种如下非接触式运送装置：空气流量和能量消耗量小，可以维持高的上浮高度精度。本发明为如下非接触式运送装置(40)：在基体(2)的运送面具备2个以上的如下涡流形成体：在具有从表面贯通到里面的横截面为圆形的贯通孔(1)的环状部件的里面具备流体喷出口(1d)，通过从流体喷出口喷出流体，在环状部件的表面侧产生朝向从表面离开的方向的涡流，并且，在环状部件的表面侧的贯通孔的开口部附近产生朝向里面方向的流体流动。由于从流体喷出口喷出流体来使被运送物上浮，因此，可以实现用小的流体流量进行运送。通过在环状部件表面侧的贯通孔的开口部附近产生向里面方向的流体流动，起到与用于确保上浮高度精度的真空吸附同等的效果。在基体的运送面上的涡流形成体的周边设置流体喷出用多孔质颗粒，可以更加高精度地控制被运送物的上浮量。

公开(公告)号：CN101977831A

公开(公告)日：2011-02-16

申请号：CN200980109753.3

申请日：2009-03-17

申请人： 翁令司工业股份有限公司 ,  哈模技术有限公司

发明人： 小泽秀夫 ,  角田耕一 ,  佐藤光 ,  岩坂斉 ,  德永英幸 ,  河西裕二

IPC分类号： B65G49/06 ,  B65G49/07 ,  B65G51/03 ,  H01L21/677

CPC分类号： H01L21/6838 ,  B65G49/065 ,  B65G2249/045 ,  H01L21/67784

摘要： 本发明提供一种如下非接触式运送装置：空气流量和能量消耗量小，可以维持高的上浮高度精度。本发明为如下非接触式运送装置(40)：在基体(2)的运送面具备2个以上的如下涡流形成体：在具有从表面贯通到里面的横截面为圆形的贯通孔(1)的环状部件的里面具备流体喷出口(1d)，通过从流体喷出口喷出流体，在环状部件的表面侧产生朝向从表面离开的方向的涡流，并且，在环状部件的表面侧的贯通孔的开口部附近产生朝向里面方向的流体流动。由于从流体喷出口喷出流体来使被运送物上浮，因此，可以实现用小的流体流量进行运送。通过在环状部件表面侧的贯通孔的开口部附近产生向里面方向的流体流动，起到与用于确保上浮高度精度的真空吸附同等的效果。在基体的运送面上的涡流形成体的周边设置流体喷出用多孔质颗粒，可以更加高精度地控制被运送物的上浮量。