公开(公告)号：CN102083720B

公开(公告)日：2016-03-02

申请号：CN200980126178.8

申请日：2009-04-22

申请人： 翁令司工业股份有限公司 ,  哈模技术有限公司

发明人： 小泽秀夫 ,  角田耕一 ,  岩坂齐 ,  德永英幸 ,  河西裕二

IPC分类号： H01L21/677 ,  B65G51/03 ,  B65G49/06

CPC分类号： H01L21/67784 ,  B65G49/065 ,  B65G2249/045

摘要： 本发明涉及一种涡流形成体和非接触式运送装置，其能够避免在被运送物的运送过程中被运送物与基体和/或涡流形成体接触，防止被运送物损伤。该涡流形成体具备从表面贯通到里面的横截面圆形的贯通孔、让流体从贯通孔的内周侧面喷出而产生涡流的第1喷出口、和从平板部朝向上方喷出流体的第2喷出口。即使在由来自第1喷出口的涡流所产生的浮力不足的情况下，也可通过来自第2喷出口的上升流辅助地浮起玻璃。因此，即使在玻璃的运送过程中成为玻璃的缘部与涡流形成体的一部分重叠的状态，也可以避免玻璃与涡流形成体接触。

公开(公告)号：CN101977831A

公开(公告)日：2011-02-16

申请号：CN200980109753.3

申请日：2009-03-17

申请人： 翁令司工业股份有限公司 ,  哈模技术有限公司

发明人： 小泽秀夫 ,  角田耕一 ,  佐藤光 ,  岩坂斉 ,  德永英幸 ,  河西裕二

IPC分类号： B65G49/06 ,  B65G49/07 ,  B65G51/03 ,  H01L21/677

CPC分类号： H01L21/6838 ,  B65G49/065 ,  B65G2249/045 ,  H01L21/67784

摘要： 本发明提供一种如下非接触式运送装置：空气流量和能量消耗量小，可以维持高的上浮高度精度。本发明为如下非接触式运送装置(40)：在基体(2)的运送面具备2个以上的如下涡流形成体：在具有从表面贯通到里面的横截面为圆形的贯通孔(1)的环状部件的里面具备流体喷出口(1d)，通过从流体喷出口喷出流体，在环状部件的表面侧产生朝向从表面离开的方向的涡流，并且，在环状部件的表面侧的贯通孔的开口部附近产生朝向里面方向的流体流动。由于从流体喷出口喷出流体来使被运送物上浮，因此，可以实现用小的流体流量进行运送。通过在环状部件表面侧的贯通孔的开口部附近产生向里面方向的流体流动，起到与用于确保上浮高度精度的真空吸附同等的效果。在基体的运送面上的涡流形成体的周边设置流体喷出用多孔质颗粒，可以更加高精度地控制被运送物的上浮量。

公开(公告)号：CN102083720A

公开(公告)日：2011-06-01

申请号：CN200980126178.8

申请日：2009-04-22

申请人： 翁令司工业股份有限公司 ,  哈模技术有限公司

发明人： 小泽秀夫 ,  角田耕一 ,  岩坂齐 ,  德永英幸 ,  河西裕二

IPC分类号： B65G51/03 ,  B65G49/06 ,  H01L21/677

CPC分类号： H01L21/67784 ,  B65G49/065 ,  B65G2249/045

摘要： (课题)避免在被运送物的运送过程中被运送物与基体和/或涡流形成体接触，防止被运送物损伤。(技术方案)该涡流形成体1具备从表面贯通到里面的横截面圆形的贯通孔11、让流体从贯通孔11的内周侧面喷出而产生涡流的第1喷出口14a、14b、和从平板部18朝向上方喷出流体的第2喷出口16a～16d。即使在由来自第1喷出口14a、14b的涡流所产生的浮力不足的情况下，也可通过来自第2喷出口16a～16d的上升流辅助地浮起玻璃3。因此，即使在玻璃3的运送过程中成为玻璃3的缘部与涡流形成体1的一部分重叠的状态，也可以避免玻璃3与涡流形成体1接触。

公开(公告)号：CN101977831B

公开(公告)日：2013-04-10

申请号：CN200980109753.3

申请日：2009-03-17

申请人： 翁令司工业股份有限公司 ,  哈模技术有限公司

发明人： 小泽秀夫 ,  角田耕一 ,  佐藤光 ,  岩坂斉 ,  德永英幸 ,  河西裕二

IPC分类号： B65G49/06 ,  B65G49/07 ,  B65G51/03 ,  H01L21/677

CPC分类号： H01L21/6838 ,  B65G49/065 ,  B65G2249/045 ,  H01L21/67784

摘要： 本发明提供一种如下非接触式运送装置：空气流量和能量消耗量小，可以维持高的上浮高度精度。本发明为如下非接触式运送装置(40)：在基体(2)的运送面具备2个以上的如下涡流形成体：在具有从表面贯通到里面的横截面为圆形的贯通孔(1)的环状部件的里面具备流体喷出口(1d)，通过从流体喷出口喷出流体，在环状部件的表面侧产生朝向从表面离开的方向的涡流，并且，在环状部件的表面侧的贯通孔的开口部附近产生朝向里面方向的流体流动。由于从流体喷出口喷出流体来使被运送物上浮，因此，可以实现用小的流体流量进行运送。通过在环状部件表面侧的贯通孔的开口部附近产生向里面方向的流体流动，起到与用于确保上浮高度精度的真空吸附同等的效果。在基体的运送面上的涡流形成体的周边设置流体喷出用多孔质颗粒，可以更加高精度地控制被运送物的上浮量。