微镜设备
    1.
    发明公开
    微镜设备 审中-公开

    公开(公告)号:CN118671961A

    公开(公告)日:2024-09-20

    申请号:CN202410318213.2

    申请日:2024-03-20

    Abstract: 提出一种微镜设备100,该微镜设备包括:罩105和功能层110,所述功能层在所述罩105的上方布置在主延伸平面5中,微镜115和框架结构120从所述功能层中结构化出来,所述框架结构包围所述微镜115,布置在所述功能层110的上方的窗口层125,其中,在包围微镜115的框架结构120上布置有至少一个第一止挡结构130,所述第一止挡结构构造为用于在垂直于所述主延伸平面15的方向上限制微镜115的偏移,并且其中,所述第一止挡结构139包括止挡元件135和在两侧与所述止挡元件135邻接的至少部分弧形的几何结构140,以便在所述微镜115撞击到所述第一止挡结构130上时限制机械应力峰值。

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