公开(公告)号：CN110702224A

公开(公告)日：2020-01-17

申请号：CN201910614893.1

申请日：2019-07-09

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： C.休伯 ,  C.谢林 ,  C.D.克雷默 ,  M.施密德 ,  R.罗德尔 ,  B.斯坦因

IPC: G01J3/02 ,  G01J3/26 ,  G02B26/00

Abstract: 本发明提供一种法布里-珀罗干涉仪-单元，该法布里-珀罗干涉仪-单元包括：载体基板；第一反射镜元件和第二反射镜元件，所述第一反射镜元件和所述第二反射镜元件上下叠放地布置在所述载体基板上并且彼此隔开，并且所述第一反射镜元件和所述第二反射镜元件分别包括电介质的布拉格反射镜，其中所述第一反射镜元件和所述第二反射镜元件：包括外部区域，所述外部区域侧向地在所述贯通开口的外部与其邻接并且没有与所述载体基板机械接触；并且包括悬挂区域，所述悬挂区域侧向地在所述外部区域的外部与其邻接并且与所述载体基板处于机械的接触之中，其中所述外部区域和/或所述悬挂区域包括具有与第一和第二反射镜层在所述贯通开口的区域中不同的张紧状态的材料。