微机械的压力传感器装置和用于制造微机械的压力传感器装置的相应的方法

    公开(公告)号:CN109843789A

    公开(公告)日:2019-06-04

    申请号:CN201780063438.6

    申请日:2017-09-29

    Abstract: 本发明提出了一种微机械的压力传感器装置和一种相应的制造方法。该微机械的压力传感器装置在此包括电路载体和微机械的构件,其中,该微机械的构件布置在电路载体的安装面上,并且在该微机械的构件上构造有至少一个对压力敏感的弯曲结构或薄膜。此外,微电子的构件和/或电路载体至少部分地用至少一种经时效硬化的喷射物质这样包围,使得至少所述至少一个对压力敏感的弯曲结构至少部分地暴露,其中,电路载体柔性地构造。

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