公开(公告)号：CN111868471A

公开(公告)日：2020-10-30

申请号：CN201980017172.0

申请日：2019-01-25

Applicant: 统一半导体公司 ,  原子能和替代能源委员会

Inventor： 珍-弗朗索瓦·布朗热 ,  斯特凡·戈德尼

IPC: G01B9/02 ,  G01B11/06 ,  G01B11/24

Abstract: 本发明涉及一种用于测量待测量对象(300)的表面(400)的轮廓的方法(100)，所述表面尤其包括由至少两种不同材料制成的区域，待测对象(300)形成多个基本上相同的对象的部分，多个对象还包括具有至少一个参考表面的至少一个参考对象(304、306)，所述方法(100)包括以下步骤：根据第一参考表面的第一轮廓信号和第二参考表面的第二轮廓信号，确定(102)校正函数，所述第二参考表面被金属涂覆；获取(110)待测对象的表面的轮廓信号；以及将校正函数应用(116)于待测对象(300)的表面(400)的轮廓信号，以获得经校正的轮廓信号；所述轮廓信号是从干涉测量(104、112)获得的。本发明还涉及一种用于使用这种方法来测量对象的表面的轮廓的装置。

公开(公告)号：CN111868471B

公开(公告)日：2022-12-16

申请号：CN201980017172.0

申请日：2019-01-25

Applicant: 统一半导体公司 ,  原子能和替代能源委员会

Inventor： 珍-弗朗索瓦·布朗热 ,  斯特凡·戈德尼

IPC: G01B9/02 ,  G01B9/0209 ,  G01B11/06 ,  G01B11/24

Abstract: 本发明涉及一种用于测量待测量对象(300)的表面(400)的轮廓的方法(100)，所述表面尤其包括由至少两种不同材料制成的区域，待测对象(300)形成多个基本上相同的对象的部分，多个对象还包括具有至少一个参考表面的至少一个参考对象(304、306)，所述方法(100)包括以下步骤：根据第一参考表面的第一轮廓信号和第二参考表面的第二轮廓信号，确定(102)校正函数，所述第二参考表面被金属涂覆；获取(110)待测对象的表面的轮廓信号；以及将校正函数应用(116)于待测对象(300)的表面(400)的轮廓信号，以获得经校正的轮廓信号；所述轮廓信号是从干涉测量(104、112)获得的。本发明还涉及一种用于使用这种方法来测量对象的表面的轮廓的装置。