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发明公开
使用相同或不同波长对基板进行光学检查的系统审中-公开

公开(公告)号：CN119816727A

公开(公告)日：2025-04-11

申请号：CN202380060977.X

申请日：2023-06-21

Applicant: 统一半导体公司

Inventor： M·杜兰德·德热维涅 , G·维也纳 , K·本哈德萨勒姆

IPC: G01N21/95 , G01N21/64

Abstract: 本发明涉及一种用于基板(3)的光学检查的系统(1)。该系统包括在基板(3)上限定检查区域(I)的照明装置、用于接纳基板(3)的支承件(2)和在基板(3)上限定检测区域(D)的检测装置。根据本发明，检查区域(I)相对于扫描方向(SD)定位在检测区域(D)的至少一部分的前方。

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