公开(公告)号：CN109313231A

公开(公告)日：2019-02-05

申请号：CN201780037424.7

申请日：2017-06-01

Applicant: 统一半导体公司

Inventor： 西尔万·珀蒂格朗德

IPC: G01R31/28 ,  H01L21/68

Abstract: 本发明涉及一种用于定位集成电路晶片(W)的定位装置(100)，包括：-称为上基座的基座(102)和称为下基座的基座(106)，所述基座在称为垂直方向的方向(Z)上彼此相距一定距离布置，以便在所述基座(102，106)之间产生自由空间；-支撑件(110)，其能够在上基座(102)和下基座(106)之间移动，并包括用于接收待检测的所述电路板(W)的接收位置(112)；-用于定位所述支撑件(110)的至少一个第一装置(118)，其在垂直方向(Z)上抵靠所述上基座(102)或与所述上基座(102)配合；和-用于定位所述支撑件(110)的至少一个第二装置(122)，其在垂直方向(Z)上抵靠所述下基座(106)或与所述下基座(106)配合。本发明还涉及一种用于检测使用这种定位装置的集成电路板的装置。

公开(公告)号：CN109313231B

公开(公告)日：2021-07-09

申请号：CN201780037424.7

申请日：2017-06-01

Applicant: 统一半导体公司

Inventor： 西尔万·珀蒂格朗德

IPC: G01R31/28 ,  H01L21/68

Abstract: 本发明涉及一种用于定位集成电路晶片(W)的定位装置(100)，包括：‑称为上基座的基座(102)和称为下基座的基座(106)，所述基座在称为垂直方向的方向(Z)上彼此相距一定距离布置，以便在所述基座(102，106)之间产生自由空间；‑支撑件(110)，其能够在上基座(102)和下基座(106)之间移动，并包括用于接收待检测的所述电路板(W)的接收位置(112)；‑用于定位所述支撑件(110)的至少一个第一装置(118)，其在垂直方向(Z)上抵靠所述上基座(102)或与所述上基座(102)配合；和‑用于定位所述支撑件(110)的至少一个第二装置(122)，其在垂直方向(Z)上抵靠所述下基座(106)或与所述下基座(106)配合。本发明还涉及一种用于检测使用这种定位装置的集成电路板的装置。